나노종합기술원, 나노·반도체 공정기술 기반 '마이크로 전고체배터리 제조플랫폼' 구축

국내 최초 8인치 웨이퍼 기반 전고체배터리 개발 플랫폼 확보
의료, 국방, 우주, 항공 등 특수목적 초소형기기 전력공급원 기대

반도체-전고체 전지 특화 공정장비. 나노종합기술원

나노종합기술원(이하 기술원)이 반도체 공정을 활용해 전고체배터리 소형화 및 차세대 나노융합소자 전력원으로 활용될 수 있는 ‘마이크로 전고체배터리 제조플랫폼’을 구축했다.

마이크로배터리는 전고체배터리를 ㎛ 크기로 줄인 차세대 초소형 배터리로, 현재 리튬이온전지와 달리 반도체 제조공정과 직접 호환 가능한 박막공정으로 제작해 의료, 국방, 우주, 항공 등 특수목적 초소형기기의 전력공급원으로 활용할 수 있다.

이번에 기술원이 확보한 마이크로배터리 제조 플랫폼은 기존 실험실 수준을 넘어 나노-반도체팹에서 8인치 웨이퍼 기반 자동화 제조와 준 양산기반을 갖췄다.

이를 위해 기술원은 국내 최초로 이차전지 소재 박막 및 패터닝 공정기술을 적용, 8인치 웨이퍼에 전고체배터리 개발 제조를 지원할 수 있는 플랫폼을 확보했다.
 이번 사업에는 국내 배터리 3사를 비롯한 11개 대학, 4개 연구소 등에서 연구원 80여 명이 참여한다.

김희탁 LG에너지솔루션 프론티어연구소장은 “반도체기술이 이차전지 성능개선 난제 해결에 핵심 역할을 할 수 있을 것”이라며 “이차전지 소재의 계면과 표면에서 발생되는 다양한 현상들을 밝혀내는 중요한 테스트 플랫폼을 제공할 것”이라고 말했다.

박흥수 기술원 원장은 “우리가 보유한 반도체 인프라가 국가 전략기술인 이차전지 발전에 기여할 수 있는 기반을 마련해 매우 뜻깊다”며 “앞으로 플랫폼 기술을 더 고도화해 바이오, 우주, 항공 등 다양한 국가전략기술 상용화에 기여하겠다”고 강조했다.
이재형 기자 jh@kukinews.com