세계적 반도체 장비회사 ASM, 8일 화성에 혁신제조센터 준공
세계적 첨단 반도체 증착장비 제조기업 에이에스엠(ASM)이 8일 화성 동탄에 혁신제조센터를 준공했다.
에이에스엠은 기존 시설 바로 옆 7400㎡ 부지에 1362억원을 들여 원자 증착(ALD) 및 플라스마 원자 증착(PEALD)이 가능한 혁신제조센터를 확장했다.
경기도는 앞서 2022년부터 글로벌 지사 간 투자유치 경쟁에서 싱가포르, 미국을 제치고 증액 투자유치에 성공했다.
에이에스엠은 혁신제조센터를 통해 장비 연구는 2배, 제조 기능은 기존 시설의 3배로 확대해 국내·외 반도체 기업에 증착장비를 공급한다.
에이에스엠은 2004년 한국의 PEALD 전문 기업인 지니텍코리아(Genitech Korea)를 인수한 뒤 한국에서 PEALD 분야에 특화해 왔다.

에이에스엠 코리아는 지속적으로 국내 생산에 필요한 소재와 부품 중 대부분을 도내 중소기업과 협업해 공급받는다. 이는 도내 기업과의 상생 및 국산화율 증가에 크게 기여할 전망이다.
고영인 경기도 경제부지사는 "ASM은 국내 업체들과의 협업을 통해 세계시장에서 플라스마 증착장비 상용화를 이끌며 국내 반도체 장비 기술을 선도해 온 모범적 투자기업"이라며 "에이 에스엠을 비롯해 기존 반도체 생산 단지, 인근 소재·부품·장비 기업과 팹리스 기업들이 연계되면 경기도는 명실상부한 세계적 반도체 메카로 완성될 것이다. 경기도가 모든 힘을 기울여서 돕겠다"고 말했다.
에이에스엠은 네덜란드 알메르(ALmere)에 본사를 두고 있는 세계 반도체 장비 10위권 내 기업이다. 세계 15개국에 4600명 이상의 종업원을 두고 있고, 반도체 장비 분야 유효 특허 400여 개 이상을 보유하고 있다.
이영규 기자 fortune@asiae.co.kr
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