삼성이 30년 개발한 반도체 세정 기술 中 유출 시도하다 덜미

검찰이 A회사에서 압수한 제작 중인 세정장비. 사진 수원지검

삼성전자와 자회사가 개발한 ‘국가 핵심 기술’인 반도체 세정 장비를 중국 기업에 수출한 이들이 재판에 넘겨졌다. 이들은 “자체 개발한 것”이라며 혐의를 부인했지만, 검찰이 새롭게 개발한 포렌식 기법으로 기술 원본의 흔적인 ‘디지털 지문’을 확인하면서 범행 일체가 드러났다.

수원지검 방위사업‧산업기술범죄수사부(부장 박경택)는 산업기술보호법 위반 및 부정경쟁방지 및 영업비밀보호에 관한 법률(영업 비밀 국외 누설 등) 등 혐의로 중국 최대 반도체 장비업체의 국내 계열사인 A업체 운영자 B(55)씨와 설계팀장(43) 등 2명을 구속했다고 19일 밝혔다. 이들과 함께 범행한 A업체 등 법인 3곳과 회사 직원 9명도 같은 혐의로 불구속기소 했다.

삼성전자의 세정공정 엔지니어 출신인 B씨 등은 2021년 10월부터 지난해 4월까지 삼성전자 자회사이자 국내 최대 반도체 장비 제조업체인 M사의 퇴사자에게 세정 장비 챔버부(장비 내에 구성된 세정작업이 실제로 진행되는 부분) 도면을 구한 뒤 이를 도용해 수출용 세정 장비를 제작한 혐의를 받는다. M사의 세정 장비이송 로봇 도면을 도용해 새로운 수출용 로봇을 설계, 제작하거나 삼성전자의 세정공정 레시피(장비 구동 세부 절차와 방법을 정리한 문서)를 활용해 새로운 레시피를 작성한 혐의도 받는다.

사건 개요도. 자료 수원지검

B씨 등이 유출하려 한 기술은 반도체 제조공정에서 발생하는 오염물을 제거해 불량률을 낮추는 기술이다. 반도체는 ‘웨이퍼’라는 원판 위에 레이저, 화학약품 등을 이용하여 회로를 붙이고 깎는 작업을 반복하는데, 그 과정에서 머리카락 10000분의 1 굵기의 이물질이 발생한다. 이물질이 제대로 제거되지 않으면 불량품이 될 가능성이 커진다.

삼성전자는 자회사인 M사와 함께 30여년간의 연구개발을 통해 세정 기술을 완성했다. 이 기술은 산업부로부터 ‘국가 핵심 기술’ ‘첨단기술(기술집약도가 높고 기술혁신속도가 빠른 기술)’로 지정됐다.

검찰 조사 결과 B씨는 2018년부터 고연봉을 제시하며 삼성전자 출신 등 국내 반도체 제작 전문가들을 영입해 세정 장비 관련 업체를 세웠다. 2021년 11월 중국 최대 반도체 장비업체에서 직접 투자를 받기로 하고 자신이 설립한 업체의 인력과 기술을 중국 업체 국내 법인인 A사에 78억2000만원을 받고 양도했다. 이후 중국 업체를 위한 세정 장비를 개발하기로 계약하고 국내 반도체 업체들의 기술자료를 불법 수집해 세정 장비 개발을 주도한 것으로 확인됐다.

A회사가 경기 평택시에 세정장비 개발 사무실 개소한 뒤 찍은 행사 사진. 사진 수원지검

지금까지 기술유출은 대부분 외국 기업이 고액 연봉을 내세워 엔지니어들을 스카우트하는 방식이었다. 그러나 이들은 국내 전문가들이 자녀 교육 문제 등으로 외국 생활을 꺼리는 점 등을 노려 경기 평택시에 기술 유출 거점업체인 A사의 사무실을 설립·운영한 것으로 파악됐다.

이들은 수사에 대비해 가명을 사용하고 회사도 간판 없이 운영했다. 베낀 기술 자료는 철저하게 삭제하고 수출 시제품을 우연히 목격한 동종업계 종사자들이 신고하려 한다는 소문에 휴대전화를 단체로 교체하기도 했다고 한다.

A사는 도용한 기술로 실제 세정 장비 시제품을 제작해 중국으로 수출했고, 2대의 양산 장비를 제작했다. 하지만 지난해 1월 국가정보원 산업기밀보호센터로부터 정보를 받아 수사에 착수한 검찰이 기술 도용 사실을 확인, B씨 등을 구속기소 하면서 범행이 중단됐다.

검찰은 A사가 중국 본사로부터 수령한 개발자금을 범죄수익으로 압류(잔액 약 100억원 추징보전)해, A사의 장비개발을 중단시키는 한편 범죄수익 환수 조치했다. 검찰 관계자는 “이들은 혐의를 부인했지만, 회사 자료에 남겨진 과거 자료의 흔적인 디지털 지문으로 기술 도용을 확인했다”며 “앞으로도 국가 핵심기술, 첨단기술을 국외로 유출하는 반국가적 범죄에 엄정 대응하겠다”고 밝혔다.

최모란 기자 choi.moran@joongang.co.kr