세계 1위 포토레지스트 기업 日 JSR, 청주에 공장 짓는다

EUV용 메탈포토레지스트 공장 기공식

25일 서울 강남구 코엑스에서 열린 반도체대전(SEDEX)의 한 부스에서 관계자가 웨이퍼를 살펴보고 있다. 2023.10.25. 연합뉴스

산업통상자원부는 12일 충북 청주에서 일본 JSR사의 반도체 극자외선(.EUV) 공정의 핵심 소재인 메탈포토레지스트(Metal Oxide resist, MOR) 생산 공장 기공식을 개최했다고 밝혔다.

이날 기공식에서는 한국 측에서 김대자 산업부 무역투자실장, 김영환 충북도지사, 이범석 청주시장이 참석했으며 JSR 측에서는 야마치카 미키오 JSR 반도체·디스플레이 사업총괄, 이이지마 다카히로 JSR마이크로코리아 대표 등이 참석했다.

1957년 설립된 JSR은 현재 반도체 포토레지스트 분야 시장 점유율 세계 1위를 기록하고 있는 기업으로, 국내에는 2003년 충북 오창 공장을 설립해 디스플레이 소재 분야에 처음 진출한 이래 투자를 확대해 왔다.

이날 기공식을 통해 JSR은 기존에 국내에 운영 중인 디스플레이 사업에 이어 전 세계 기업 중 최초로 반도체 극자외선(EUV) 공정용 메탈포토레지스트 생산거점을 한국에 구축하게 됐다. JSR의 메탈포토레지스트 공장은 충북 청주 흥덕구 옥산면에 있는 오창과학산단내에 들어설 예정이다.

포토레지스트는 반도체 웨이퍼 표면에 회로 패턴을 형성하기 위해 도포하는 물질이다. EUV 메탈포토레지스트는 기존 반도체 공정에서 사용되는 저사양 화학증폭형 포토레지스트에 비해 해상도가 높아 반도체 초미세 공정에 적용될 예정이다.

JSR은 2026년까지 생산기반 구축을 완료하고 메탈포토레지스트를 양산할 계획이다. 이를 통해 국내기업 수요에 적기 대응해 국내 반도체 산업 경쟁력 강화에 기여할 수 있을 것으로 기대된다. 김대자 무역투자실장은 "JSR의 이번 투자가 성공적으로 이행되고 추가 투자로 이어질 수 있도록 충청북도·청주시와 함께 총력 지원해 나갈 계획"이라고 말했다.

강희종 기자 mindle@asiae.co.kr