저스템, 美 마이크론 보이시 공장 '반도체 장비 평가' 완료

보이시 생산 라인 내년 가동 예정

반도체 장비 기업 저스템은 미국 아이다호주 보이시에 있는 마이크론 기술혁신센터(연구개발 Fab)에서 지난달 말 'N2 LPM(Lord Port Module)' 장비 평가를 성공적으로 마쳤다고 8일 밝혔다.

임영진 저스템 대표 / [사진제공=저스템]

N2 LPM은 반도체 공정 중 웨이퍼를 보관하고 옮기는 역할을 하는 풉(FOUP)의 내부 습도를 제어하고 불순물을 제거해 수율(완성품 중 양품 비율)을 높이는 장비다. 저스템은 관련 장비 시장에서 80% 넘는 점유율을 보유하고 있다.

저스템 측은 "향후 보이시에 들어설 새로운 생산 라인에 장비를 적용하기 위한 최종 검토 차원에서 평가가 이뤄졌다"며 수주 가능성이 커졌다고 밝혔다. 또 "고대역폭메모리(HBM) 제조 경쟁이 치열한 상황에서 수율 제고를 위한 필수 장비로 N2 LPM 역할이 커지고 있다"고 말했다.

마이크론은 미국 보이시와 본사에 기술혁신센터를 두고 내년 공장 가동을 목표로 축구장 10개 규모에 해당하는 생산 라인을 건설하고 있다. 완공 후에는 해당 라인에서 첨단 D램과 HBM을 생산할 예정이다.

저스템은 2019년부터 마이크론 글로벌 생산 라인이 있는 일본과 대만, 싱가포르 등에 N2 LPM을 공급해왔다. 현재 일본과 대만에 있는 고대역폭메모리(HBM) 생산 라인에도 이 장비가 도입돼 있다.

저스템 최고기술책임자(CTO)인 김용진 사장은 "내년 이후에는 보이시 공장이 주요 생산 라인이 될 것"이라며 "현지에서 (장비) 테스트를 성공적으로 마친 만큼 향후 지속해서 물량을 공급할 수 있을 것"이라고 말했다.

김평화 기자 peace@asiae.co.kr