[특징주]켐트로닉스, 이재용 'EUV동맹' 강화…세계최고 EUV 핵심소재 본격 양산

켐트로닉스가 강세다. 올 1분기 영업이익 125억원을 기록하면서 전년 동기 대비 흑자 전환했다는 소식이 주가에 영향을 주는 것으로 보인다.

16일 오전 11시32분 켐트로닉스는 전날보다 22.28% 오른 3만4850원에 거래되고 있다.

분기보고서에 따르면 연결기준 1분기에 매출액 1475억원, 영업이익 125억원을 기록했다. 매출액은 전년 동기 대비 12% 증가했고, 영업이익은 흑자 전환했다.

켐트로닉스는 반도체 극자외선(EUV) 노광 공정의 핵심 재료인 포토레지스트(PR)를 구성하는 PGMEA(프로필렌글리콜 메틸 에테르 아세트산)를 순도 99.999%(5N)로 시생산하는 데 성공해 양산 중다. 올해 상반기부터 본격적으로 양산하기 위한 최종 고객사의 품질승인작업이 진행 중이다.

PGMEA는 반도체 제조에 사용되는 대표적인 용제로 반도체용 시너(Thinner)로 제조해 노광 공정에서 감광 반응이 일어나지 않은 부분에 묻은 감광물질을 씻어내는 역할을 한다. 켐트로닉스의 PGMEA 경쟁력은 5N급 순도로 금속성 잔류물에 의한 노광 때 불량을 현저히 줄일 수 있다는 점이다. 친환경성을 확보한 점에 큰 성과를 보인다고 켐트로닉스는 설명했다.

PGMEA에는 잠재적 독성물질인 '이성질체(베타-아이소머)'라는 물질이 있는데 글로벌 기업은 이성질체 농도로 10ppm(100만분의 1을 나타내는 단위) 미만을 요구하고 있다. 켐트로닉스는 베타-아이소머 물질을 1.5ppm 수준으로 낮추는 성과를 보이고 있습니다.

켐트로닉스 PGMEA 합성 경쟁력은 5N 초고순도라는 점과 금속성 불순물이 ppb(10억분의 1)단위로 초 극소량만 함유된다는 점을 꼽을 수 있다. 노광 공정시 금속성 불순물로 인한 빛의 분산 및 굴절을 방지해 수율 향상에 기여한다.

남궁현 신한투자증권 연구원은 "PR향 PGMEA 퀄 테스트 통과와 글라스 기판 업체의 공격적인 공급망 구축에 따른 TGV공정 진입으로 반도체 사업 확장 가시화도 기대한다"며 "연말 8세대 하이브리드 OLED 시양산 준비에 따른 성장동력도 보유하고 있다"고 설명했다. 올해 매출액 6224억원, 영업이익 529억원을 달성할 것으로 추정했다.

한편 삼성전자는 EUV 기술력을 바탕으로 파운드리 시장에서 3나노 이하 초미세공정 시장을 주도하고 연내에 EUV 공정을 적용해 6세대 10나노급 D램을 양산할 계획이다. 이재용 삼성전자 회장은 지난달 독일 오버코헨에 있는 자이스(ZEISS) 본사를 방문해 칼 람프레히트 최고경영자(CEO) 등 경영진을 만나 양사 협력 강화 방안을 논의했다. 자이스는 ASML의 EUV 장비에 탑재되는 광학 시스템을 독점 공급하고 있다. 삼성전자는 자이스와 향후 EUV 기술 및 첨단 반도체 장비 관련 분야에서의 협력을 더욱 확대하기로 했다.

박형수 기자 parkhs@asiae.co.kr