반도체 업계, ASML 협력강화에 기대 “메모리·파운드리 노광기술 확보 발판”

간담회 이후 열린 한-네덜란드 첨단반도체 협력 협약식에서 반도체 기업 메모리 반도체용 차세대 EU 기술협력 협약, 극자외선 노광장비(EUV) 저전력 친환경 활용 기술협력 협약 등을 체결했다. 김지훈 기자

윤석열 대통령의 국빈 방문을 계기로 조성된 삼성전자와 네덜란드 ASML의 협력 강화는 메모리와 파운드리 기술 경쟁력을 끌어올릴 기회가 될 것으로 반도체 업계가 기대하고 있다. 특히 초미세 반도체 공정에 필요한 ASML의 극자외선(EUV) 노광 장비를 안정적으로 확보할 수 있다는 데 주목한다. 삼성전자와 ASML은 12일(현지시간) ‘EUV 공동 연구소 설립’에 관한 업무협약(MOU)을 맺었다.

13일 업계에 따르면 ASML은 EUV 노광 장비를 독점 공급하고 있으며, 연간 40대가량 생산한다. 고객사인 삼성전자, TSMC, 인텔, 마이크론 등의 물량 확보 경쟁이 치열하다. 노광 장비란 반도체 기판에 설계도에 따라 집적회로를 그려넣는 장비다. 반도체가 미세화·고도화될수록 노광 기술력이 중요해진다.

이종환 상명대 시스템반도체공학과 교수는 “ASML의 노광 장비를 선점하는 게 굉장히 중요하다”며 “장기적으로 우리나라도 노광 공정 기술력을 향상시킬 수 있는 초석이 될 것”이라고 말했다. 안기현 반도체산업협회 전무는 “ASML도 고객사 중 우선순위를 둘 텐데, 양국 관계가 좋아지면 훨씬 유리해질 것”이라고 했다. 그동안 파운드리 시장 점유율 1위인 대만 TSMC가 ASML로부터 가장 많은 물량을 들여왔다. 이번 윤 대통령의 국빈 방문으로 2위인 삼성전자는 TSMC 추격을 위한 발판이 마련된 셈이다.

메모리 반도체 기술에도 ASML과의 협력은 도움이 될 것으로 보인다. 삼성전자는 MOU를 통해 최첨단 메모리에 필요한 EUV 기술을 조기 확보하겠다는 방침이다. 업계에선 ASML 입장에서도 메모리 반도체 1위에 투자하는 게 차세대 노광 기술 확보에 유리하다고 본다. 메모리에 있어선 국내 반도체 업체가 협상력이 있다는 것이다.

SK하이닉스는 ASML과 ‘EUV용 수소 가스 재활용 기술 개발’ MOU를 체결했다. EUV 운용에 사용하는 수소 가스를 포집 후 연료전지로 재활용해 전력화하는 기술이다. 박재근 한국반도체디스플레이기술학회장은 “전력 사용을 절감해 ESG(환경·사회·지배구조) 경영에 도움이 될 것”이라고 말했다.

이날 ‘한·네덜란드 CEO 라운드 테이블’에서 경계현 삼성전자 DS부문장(사장)은 “양국 기업의 협력 강화는 유럽의 반도체 가치사슬 강화와 글로벌 공급망 안정성에 큰 기여를 할 것”이라고 밝혔다. 곽노정 SK하이닉스 대표이사 사장은 “반도체산업이 온실가스 감축에 기여하는 첫 번째 모범 사례가 될 것”이라고 했다.

조민아 황민혁 기자 minajo@kmib.co.kr

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