[특징주]켐트로닉스, 국내최초 순도 99.999% '쾌거'…글로벌 EUV 접수기대

박형수 2023. 11. 7. 15:11
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켐트로닉스가 강세다.

반도체 극자외선(EUV) 공정 핵심 원료를 대량 생산한다는 소식이 주가에 영향을 주는 것으로 보인다.

켐트로닉스가 개발한 PGMEA는 99.999%(5N)의 초고순도를 구현한 것으로, EUV PR을 만드는 데 쓰인다.

글로벌 반도체 기업들이 이성질체 평가 기준 수립에 켐트로닉스 수치를 참고하는 움직임이 생기기 시작했다고 회사 측은 전했다.

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켐트로닉스가 강세다. 반도체 극자외선(EUV) 공정 핵심 원료를 대량 생산한다는 소식이 주가에 영향을 주는 것으로 보인다.

7일 오후 3시10분 전날보다 12.32% 오른 2만3700원에 거래되고 있다.

켐트로닉스는 현재 연 1만t 규모의 '초고순도 프로필렌 글리콜 메틸 에테르 아세트산(PGMEA)' 생산능력을 2025년 2만5000t으로 확대한다고 밝혔다. PGMEA는 반도체 노광 공정에 활용되는 PR의 70~80%를 차지하는 핵심 원료다. 켐트로닉스가 개발한 PGMEA는 99.999%(5N)의 초고순도를 구현한 것으로, EUV PR을 만드는 데 쓰인다. 자체적인 합성·정제 노하우를 앞세워 4년여 만에 5N급 양산을 앞두고 있다.

일본이 수출 규제했던 EUV 포토레지스트(PR)의 용제가 양산·공급되는 것이다. 국내 반도체 산업에 공급망 강화 효과가 기대된다. EUV PR은 그동안 JSR·신에츠·TOK 등 일본 기업이 주도했다. 2019년 일본 정부가 한국 반도체 산업에 타격을 주기 위한 수출규제를 단행했을 때 EUV PR를 포함시킨 이유다.

PGMEA 쓰임새가 확장된 것도 장점이다. 기존 PR 용제뿐 아니라, PR 공정 보조물질인 반사방지막(BARC), 지지층(SOH)의 용제로도 활용될 수 있다. PGMEA 시장은 2022년 9262억원, 2023년 9687억원에 이어 2024년 1조172억원 규모가 예상된다. 켐트로닉스는 최종 고객사에 반도체용 PR를 납품하는 업체들에 샘플을 공급하면서 품질테스트 절차를 준비하고 있다. 연내 최종 고객사 승인이 완료되면 내년 상반기 납품을 개시한다.

친환경성을 확보하면서 상용화 가능성을 높인 것으로 알려졌다. PGMEA에는 잠재적 독성물질인 '이성질체(베타-아이소머)'라는 물질이 있다. 글로벌 기업은 이성질체 농도로 10ppm(100만분의 1을 나타내는 단위) 미만을 요구하는데, 켐트로닉스는 이를 1ppm으로 낮췄다. 글로벌 반도체 기업들이 이성질체 평가 기준 수립에 켐트로닉스 수치를 참고하는 움직임이 생기기 시작했다고 회사 측은 전했다.

박형수 기자 parkhs@asiae.co.kr

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