홍영준 세종대 교수, 원격 에피성장기술 원리 규명

세종대는 31일 홍영준 나노신소재공학과 교수, 장소연 서울대 교수, 김동환 성균관대 교수가 국제공동연구를 통해 성장 후 기판에서 쉽게 분리가 가능한 반도체 원격 에피성장 기술의 원리를 규명했다고 밝혔다.

반도체 원격 에피성장 기술의 원리. [사진제공=세종대학교]

원격 에피성장 기술은 그래핀과 같은 이차원 물질이 코팅돼 있는 기판을 사용해 기판과 화합결합 없이 기판과 동일한 결정방향과 구조의 단결정 반도체 에피층을 제조하는 방법이다.

연구팀은 그래핀을 한층 한층 적층해 미세 결함을 보완하는 방식으로도 원격 에피택시가 가능함을 밝혔다. 또한 동일한 품질의 그래핀이 코팅된 다양한 기판에서 성장 온도를 조절하면 원격 에피택시의 핵생성 밀도가 변화한다는 실험을 통해 미세결함이 아닌 기판과 원격 에피 상호작용이 실재함을 입증했다.

이번 연구결과는 화학결합을 하지 않는 신개념 반도체 에피제조기술의 원리를 규명했다는 점을 인정받아 지난 20일 미국과학진흥회에서 발간하는 융합학술저널에 논문이 게재됐다.

임춘한 기자 choon@asiae.co.kr