[issue&] 반도체 공정 국산화에 기여…중소기업인대회 ‘산업포장’ 수상

에이텍솔루션

‘모니터링 웨이퍼 리클레임’ 개발
928억원 수입대체 효과 인정받아
2024년 상장 앞두고 큰 도약 이뤄

박병호 에이텍솔루션 대표가 25일 ‘2023 대한민국 중소기업인대회’에서 산업포상을 받았다. 왼쪽부터 경기지방중소벤처기업청 이상창 청장과 박병호 에이텍솔루션 대표. [사진 에이텍솔루션]

㈜에이텍솔루션 박병호 대표가 ‘2023 대한민국 중소기업인대회’에서 산업포장을 받았다고 25일 밝혔다.

올해 34회째를 맞은 대한민국 중소기업인대회는 중소벤처기업부와 중소기업중앙회가 주관하는 행사로, 한국경제 발전에 공헌한 중소·벤처기업인의 성과를 알리고 서로 나누는 자리다. 올해는 윤석열 대통령을 포함한 정부 관계자, 중소기업 유관단체장, 중소기업 유공자, 9대 대기업 총수 등 500여 명이 참석한 가운데 ‘다시 뛰는 중소기업, 함께 성장하는 대한민국’을 슬로건으로 진행됐다.

에이텍솔루션은 반도체 공정에서 사용하는 ‘모니터링 웨이퍼 리클레임(Monitoring Wafer Reclaim)’ 사업을 국내 최초로 개발·양산하는 데 성공, 928억원의 수입대체 효과를 낸 공로를 인정받아 산업포상을 받았다.

2009년 7월 창업한 에이텍솔루션은 일본 기업 히타치메탈(AERA)의 질량 흐름 제어기(MFC) 제품 영업을 시작으로 오늘날의 자리까지 올라왔다. 지금도 에이텍솔루션의 MFC 사업은 일본 프로테리얼사(社)의 AERA MFC와 함께하고 있다. 산업용 대용량 MFC부터 반도체에 사용하는 고성능 MFC까지 다양한 분야에 제품을 제공한다. 단순한 제품 납품뿐 아니라 MFC 리페어 숍을 운영, 24시간 빠르게 대응할 수 있는 체계를 구축해 업계를 선도하고 있다.

나노 세정 사업부는 다운플로우 방식의 클래스1 수준의 고청정 클린룸 환경을 구축했다. 이러한 환경에서 최신 ICP-MS(유도결합플라즈마 질량분석기) 및 이온크로마토그래피 분석기술을 활용해 반도체 초미세 공정에 필요한 핵심 부품들의 고품질 나노 세정을 제공하고 있다. Diffusion/LPCVD 공정에서 사용되는 쿼츠(quartz), 실리콘카바이드(SiC) 부품의 막질제거기술, 포토 공정에서 사용되는 초순수 및 각종 케미칼 등 다양한 공정에 적용할 수 있는 세정기술을 지속해서 개발해 선보이고 있다.

에이텍솔루션은 웨이퍼 리클레임(웨이퍼 재생)이라는 개념이 국내 반도체업계에 정착하기 전 웨이퍼 재생 기술의 미래를 인식하고 사업 범위를 넓혔다. 그 결과 에이텍솔루션의 재생 웨이퍼는 30여 개 주요 고객사에 공급되며 품질력을 인정받고 있다. 특히 다양한 막질에 대한 제거, 더블 사이드 폴리싱, 에지 폴리싱 등 제조기술은 물론 평탄도(flatness)·미세먼지(particle) 측정과 같이 까다로운 공정과 검사를 통한 맞춤형 서비스도 제공한다.

이와 함께 10년간 실리콘 웨이퍼 제조로 축적한 그라인딩, 폴리싱, 나노 클리닝 등의 노하우를 실리콘 부품 제조 기술에 적용해 경쟁사와 차별화된 부품을 만들어내고 있다. 특히 모든 과정을 자동으로 처리하는 스마트 팩토리까지 구현해 혁신을 이어가고 있다.

에이텍솔루션은 최고 수준의 기술력으로 제품을 만들고 있다. 천안1공장(위 사진)과 본사 전경.

이처럼 에이텍솔루션이 지속가능한 미래에 한 걸음 다가갈 수 있었던 건 2011년 가동한 MFC 리페어 숍 덕분이다. 단발성으로 사용되던 MFC를 수리해 다시 사용하는 기술력을 확보하고, 기업부설연구소를 세워 기술 개발에 매진한 것. 에이텍솔루션은 이를 토대로 반도체 메모리사업부 쿼츠 세정사업을 시작, 제조실행시스템(MES)을 구축했다. 2014년에는 천안 풍세산업단지 내 신축공장 준공과 함께 웨이퍼 리클레임 등으로 사업을 다각화했다. 이후 천안 1공장과 천안 2공장, 아산 3공장을 준공하고, 각 분야 최고 전문가로 구성된 인재도 영입해 기술력 확보에 힘을 쏟았다. 대표적인 특허기술로는 ▶반도체 세정품 입·출고 검사용 대차 ▶액체용기용 보관함 ▶이온 소스의 세정 방법 및 이를 이용한 반도체 소자의 제조방법 ▶FOSB 언패킹 시스템 및 방법 ▶고효율 반도체 증착용 기화기 특허, 케미칼 저장 공간과 별도의 기화 공간을 구비한 기화기 ▶정확한 수위 측정이 가능한 케미칼 저장탱크 ▶반도체 제조 장비를 위한 세정 방법 등이 있다.

에이텍솔루션은 기업의 사회적 책임도 다하고 있다. 2018년부터 사단복지법인 신명아이마루를 비롯해 (재)천안시복지재단, 경기공동모금회, 사회복지공동모금회, (사)한베경제문화협회, 천안사랑장학재단, 천안시복지재단에 기부하는 등 지역사회 발전을 위해 다양한 지원을 펼치고 있다. 박병호 대표는 “사람과 환경을 우선으로 하는 경영 철학을 바탕으로 사회에 긍정적인 영향을 주겠다”고 말했다.

한편, 에이텍솔루션의 재생 웨이퍼는 2018년 ‘삼성전자 베스트 컨트리뷰션 어워드’ 수상은 물론 2021년 ‘제48회 상공의날 산업통상부 장관상’ 수상, 2022년 ‘제18회 천안시 기업인의 상’ 종합대상 수상, 2022년 ‘제59회 무역의날 700만불 수출의 탑’ 수상, 2023년 ‘중소기업 유공자 포상 모범중소기업인’ 부문 수상 등을 통해 기술력을 입증했다. 2024년 상장도 앞두고 있다.

박지원 중앙일보M&P 기자 park.jiwon5@joongang.co.kr