용인특례시, 관내 반도체 소·부·장 기업 4곳에 연구 장비 사용료 지원

차세대융합기술원구원 보유 첨단장비 17종 사용료 70%

경기도 차세대융합기술연구원이 보유장비로 연구를 하는 모습. ⓒ용인시 제공

용인특례시가 관내 반도체 소재·부품·장비 기업 4곳에 기술 실증이나 제품화를 위한 연구 장비 사용료를 지원한다고 13일 밝혔다.

시는 반도체 소·부·장 기업 육성과 기술 경쟁력 강화를 위해 ‘반도체 소부장 실증화 장비 사용료’를 지원키로 하고 지난 4월부터 관내 기업의 신청을 받았다.

지난달 31일에는 용인시 보조금관리위원회 심의를 열고 장비 사용료를 지원할 기업 4곳을 최종 선정했다.

선정된 기업은 반도체 제조를 위한 전‧후 공정 등 각 분야에 필요한 부품을 생산하는 ㈜테스, ㈜이엔에프테크놀로지, 엠케이전자㈜, 디에스이테크㈜ 등 4곳이다.

㈜테스와 디에스이테크㈜는 반도체 장비를 생산하고, 엠케이전자㈜는 반도체 후공정에 사용되는 부품을 제조한다. ㈜이엔에프테크놀로지는 반도체 제조 공정에 쓰이는 식각액, 신너, 현상액 등 특수 화학제품을 생산한다.

이들 기업은 앞으로 경기도 차세대융합기술연구원이 보유한 연구 장비를 20% 할인된 가격으로 대여할 수 있으며, 장비 사용료의 70% 최대 400만원을 시에서 지원받게 된다.