[2023 국가산업대상] 반도체 전공정 장비 시장에서 국산화 선도

기술혁신 ㈜넥스틴 ★★★

㈜넥스틴(대표 박태훈)이 ‘2023 국가산업대상’ 기술혁신 부문 대상에 선정됐다. 3년 연속이다.

2010년 설립된 넥스틴은 광학기술 기반 ‘반도체 전공정 웨이퍼 미소 패턴 결함 검사장비’를 개발했다. 넥스틴은 반도체 전공정에서 생기는 반도체 소자 회로의 패턴 불량을 검사하는 장비를 출시하며 반도체 전공정 장비의 국산화를 선도하고 있다.

패턴 결함 검사장비는 Dark-field 방식과 Bright-field 방식으로 나뉘는데, 넥스틴은 두 방식을 결합한 AEGIS장비를 국산화해 시장에 안착했다. 넥스틴은2D이미징 기술을 개발해 하이닉스 등 글로벌 메모리 소자 고객사뿐 아니라 삼성전자 등 국내 파운드리 및 해외 고객사까지 확보하고 있다. 지난해 말 기준 수출액이 전체 매출액의 약 60%를 차지하는 등 글로벌 장비업체로 발돋움했다.

넥스틴은 IRIS 개발을 필두로 2020년 AEGIS-II, 2022년 AEGIS-III에 이어 핵심 성장 동력원으로 차세대 반도체 패턴 결함 검사장비 시장의 60% 이상을 차지하는 BF 시장 진입을 위한 DUV BF장비 개발을 진행하고 있다. 또한 EUV 공정에서 발생하는 미세 정전기를 제거하는 ‘레스큐(ResQ)’ 장비를 개발했으며, 하반기 공급을 목표로 양산 성능 평가에 들어갔다.

김승수 중앙일보M&P 기자 kim.seungsoo@joongang.co.kr