티이엠씨, 美 인테그리스와의 특허 소송 승소

[아시아경제 박형수 기자] 반도체 특수가스 국산화 선도업체 티이엠씨는 미국 나스닥 상장사인 인테그리스(Entegris Inc.)가 자사를 상대로 제기한 반도체 이온 주입용 안전용기 특허 소송에서 승소했다고 1일 밝혔다. 티이엠씨의 국산화 제품 양산 공급이 더욱 확대될 예정이다.

인테그리스는 티이엠씨가 개발한 안전용기에 대해 서울지방법원에 특허권침해금지 및 손해배상 소송을 제기했다. 특허심판원은 티이엠씨측 손을 들어 해당 특허가 무효하다고 심결했다. 서울지법도 기각했고 추가 항소 없이 약 2년 만에 소송이 완전히 종결됐다. 티이엠씨 독자 기술을 인정받은 셈이다.

특허권을 놓고 대치한 안전용기는 반도체 공정에 사용되는 맹독성의 특수가스 누출을 차단하는 기능을 한다. 이온주입 장비가 운전되는 클린룸(Clean Room) 안에 장착해서 사용한다. 티이엠씨는 독자적 기술을 통해 안전용기를 개발하고 제조하는 데 성공했다. 2021년부터 본격적으로 고객사에 공급하고 있다.

티이엠씨가 개발하기 전에는 인테그리스 및 린데(Linde plc)가 공급을 주도했다. 특허권에 대해 티이엠씨가 승소한 만큼 반도체 특수가스 시장에서 티이엠씨 제품 공급 기회가 커질 것으로 보인다.

티이엠씨 유원양 대표는 "소송을 통해 티이엠씨 기술을 인정받아 다행이라고 생각한다"며 "안정적으로 소재를 공급해 해외 의존도를 낮추고자 하는 것이 티이엠씨가 궁극적으로 추구하고자 하는 가치"라고 설명했다.

지난달 초 코스닥 시장 상장을 위한 예비심사 승인을 받은 티이엠씨는 신규 제품군을 확대하는 한편 희귀가스 재활용, 초저온 가스 생산 확대 등 다양한 사업 모델을 구축하고 있다.

박형수 기자 parkhs@asiae.co.kr