[PRNewswire] ERS electronic, 최첨단 측정 장치 ProbeSense™ 출시

보도자료 2022. 5. 26. 16:36
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-- 웨이퍼 테스트에서 자동 온도보정 가능

(뮌헨 2022년 5월 26일 PRNewswire=연합뉴스) 반도체 제조용 열 관리 솔루션 시장의 선도기업 ERS electronic[http://www.ers-gmbh.com/ ]가 실제 프로빙 영역에서 30mK 미만의 고정밀 자동 측정이 가능한 온도보정 장치를 개발했다.

ProbeSense™[http://www.ers-gmbh.com/probesense ]라는 이름의 이 장치는 현재 특허 출원 중이다. 이 장치는 프로버(prober)의 프로브 카드 위치에 장착된 온도 센서로 구성된다. 이 센서는 프로버의 XYZ 축 모션 기능을 활용해 웨이퍼 프로빙 시와 동일한 조건에서 웨이퍼 표면의 여러 지점에서 온도를 측정할 수 있다. ProbeSense™는 사용자가 선택한 프로버에 적합한 어댑터 플레이트와 함께 제공되므로, 반도체 업계의 모든 웨이퍼 프로버와 호환된다. ProbeSense™ 패키지에는 mK 범위의 센서와 함께 보정된 온도 측정 기구도 포함된다.

ERS의 ProbeSense™ 소프트웨어를 프로버에 통합하면 프로세스가 완전 자동화되므로, 작업자 없이도 척(Chuck)의 여러 지점과 온도에서 테스트 스크립트를 실행할 수 있다. MPI Corporation[https://www.mpi-corporation.com/ ]은 프로빙 스테이션에서 이 추가 기능을 제공하는 최초의 프로버 제조업체다.

ERS electronic의 CTO인 Klemens Reitinger는 "ProbeSense™는 강력하고 고도로 정확하며 사용하기 쉬운 보정 도구에 대한 요구를 해결하는 것"이라면서 "여러 개의 프로버 제조업체에 의해 통합되고 있는 자동화 기능은 정확도 보정 및 온도 균일성 측정에서 판도를 바꿀 것"이라고 설명했다.

MPI Corporation의 고급 반도체 테스트(Advanced Semiconductor Test) 부문 제너럴 매니저 Stojan Kanev는 "MPI Corporation은 서멀 척(Thermal chuck) 보정을 위한 ProbeSense™를 SENTIO(R) Prober 제어 소프트웨어 제품군에 통합함으로써 확실한 장점을 제공한다"라며, "완전 자동화된 절차를 통해 야간이나 주말 시간을 보정에 활용해 직관적인 작동과 빠른 결과를 제공하므로, 테스트를 위해 귀중한 시간을 낭비할 필요가 없다"고 말했다. 이어 그는 "이러한 기능을 제공함으로써, 우리는 비용 및 시간 효율적인 열 보정 솔루션에 대한 고객의 요구를 해결하고 있다"고 덧붙였다.

ERS의 ProbeSense™는 바로 주문할 수 있다.

ERS 소개:

뮌헨에 기반을 둔 ERS electronic GmbH는 50년 이상 업계를 위한 혁신적인 열 시험 솔루션을 생산했다. ERS는 특히 분석, 매개변수 관련 및 제조 시험을 위해 시험 온도 범위 -6~+550도에서 사용 가능한 빠르고 정확한 공랭식 서멀 척 시스템을 출시함으로써 이 분야에서 호평을 받고 있다.

영상: https://www.youtube.com/watch?v=YuJksH8uOQY

로고: https://mma.prnewswire.com/media/1801970/ERS_electronic_GmbH_Logo.jpg

ERS electronic GmbH Logo.

출처: ERS electronic GmbH

ERS electronic introduces ProbeSense, a state-of-the-art measurement device for automated temperature calibration in wafer test

MUNICH, May 24, 2022 /PRNewswire/ -- ERS electronic [http://www.ers-gmbh.com/ ], the industry leader in the market of thermal management solutions for semiconductor manufacturing, has developed a temperature calibration device that allows automatic and highly accurate measurements below 30mK in the actual probing area.

The patent-pending device, aptly named ProbeSense [http://www.ers-gmbh.com/probesense ], consists of a temperature sensor, which is mounted in the probe card position on the prober. Taking advantage of the XYZ axis motion capability of the prober, the sensor can measure the temperature over several points on the wafer surface in the same conditions as during wafer probing. ProbeSense is delivered with adapter plates to fit your prober of choice and is thereby compatible with all wafer probers in the semiconductor industry. Included in the ProbeSense package is also a temperature measurement instrument, which has been calibrated together with the sensor in the mK range.

By integrating ERS's ProbeSense software in the prober, the process can be fully automated, allowing a test script to be run for multiple points and at multiple temperatures on the chuck without the need for an operator. MPI Corporation [https://www.mpi-corporation.com/ ] is the first prober manufacturer offering this add-on function in its probing stations.

"ProbeSense addresses the need for a robust, highly accurate, and easy-to-use calibration tool," says Klemens Reitinger, CTO of ERS electronic. "We believe that the automation capability, which is in the process of being integrated by several prober manufacturers, will be a game-changer when it comes to accuracy calibration and temperature uniformity measurement."

"MPI Corporation sees a clear benefit of integrating ProbeSense for thermal chuck calibration into SENTIO(R) Prober control Software Suite. The fully automated procedure provides intuitive operation and fast results by utilizing the night or the weekend for calibration, thereby eliminating the need to sacrifice valuable test time", says Stojan Kanev, General Manager of Advanced Semiconductor Test at MPI Corporation. "By offering this capability to our customers, we are addressing their demand for a cost- and time-efficient thermal calibration solution."

ERS's ProbeSense is available to order now.

About ERS:

ERS electronic GmbH, based around Munich, has been producing innovative thermal test solutions for the industry for more than 50 years. The company has gained an outstanding reputation in the sector, notably with its fast and accurate air cool-based thermal chuck systems for test temperatures ranging from -65°C to +550°C for analytical, parameter-related, and manufacturing tests.

Video: https://www.youtube.com/watch?v=YuJksH8uOQY

Logo: https://mma.prnewswire.com/media/1801970/ERS_electronic_GmbH_Logo.jpg

ERS electronic GmbH Logo.

Source: ERS electronic GmbH

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(끝)

출처 : PRNewswire 보도자료

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