톱텍, 103억원 규모 반도체 장비 국책과제 선정

자동화 설비 전문기업 톱텍이 산업통상자원부가 주관하는 103억원 규모의 반도체 장비 국책과제에 선정됐다. '고정밀 3축 로더기반 고속 반도체 프로브스테이션' 장비 기술 개발 프로젝트다.

이 장비는 고성능 반도체 웨이퍼 공정에서 웨이퍼 패드에 미세한 바늘을 접촉시켜, 제조 반도체 칩의 전기적, 물리적 특성을 검사하는 용도로 쓰일 예정이다.

이를 통해 반도체 제작 공정에서 발생하는 결함, 불량 상태 검출의 정확도를 높일 수 있다.

현재 고성능 프로브스테이션 시장은 미국, 일본 주요 회사가 독과점하고 있다.

톱텍이 이번 프로젝트 개발에 성공하면 수입대체는 물론 수출도 내다볼 수 있게 된다.

이재환 톱텍 회장은 "미크론 단위의 고정밀 제어기술과 고해상도 비전 기술을 기반으로 정밀한 웨이퍼 접촉, 정확한 정렬(얼라인먼트)이 가능하도록 개발할 예정이다. 지난 29년간 축적된 기술력을 바탕으로 안정적으로 전개하고 있는 2차전지, 디스플레이 부분의 주력사업 전개와 더불어 금번 반도체 장비의 국산화

개발을 통해 매출 확대를 기대하고 있다"라고 말했다.

박수호 기자

[ⓒ 매일경제 & mk.co.kr, 무단전재 및 재배포 금지]