반도체 제왕들 쩔쩔매게 한 '슈퍼을' 회사..ASML 넌 누구냐

네덜란드 반도체장비 업체인 ASML 내부의 연구단지에서 교육생들이 극자외선(EUV) 기계를 작동하는 방법을 배우고 있다. [로이터=연합뉴스]

삼성전자와 대만의 TSMC 등 굵직한 반도체 회사들이 대규모 투자를 예고한 가운데, 세계에서 유일하게 극자외선(EUV) 노광장비를 만드는 ‘슈퍼을’ 업체인 ASML이 주목받고 있다. 세계 1·2위 반도체 메이커가 서로 ‘나한테 장비를 달라’고 줄을 서면서 “반도체 슈퍼사이클의 ‘열쇠’를 쥐었다”는 평가가 나온다.

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반도체 생산업체가 눈치 보는 ‘슈퍼을’
ASML은 반도체 미세공정에 없어서는 안 되는 EUV 노광장비를 만드는 회사다. 이 장비는 반도체 노광공정(사진을 찍듯 반도체 원판인 웨이퍼에 회로를 새기는 작업)에 필요하다. 빛의 파장이 짧으면 웨이퍼에 미세하게 반도체 회로를 그릴 수 있는데, ASML의 장비는 기존 장비 193㎚(나노미터·1㎚=10억 분의 1m)의 14분의 1 수준인 극자외선을 쓰기 때문에 정교한 작업이 가능하다. 이런 점에서 5㎚ 이하 반도체 초미세공정에서 핵심 장치로 꼽힌다.

과거에는 일본 니콘·캐논 등도 제품을 내놨지만 ASML에게 밀리면서 EUV 시장에서 자취를 감췄다. 반도체 업계 관계자는 “최신 반도체 공급망에서 유일하게 공급자 하나뿐인 분야”라며 “반도체 생산업체들이 눈치를 볼 수밖에 없다”고 말했다.

이재용 삼성전자 부회장이 지난해 10월 네덜란드에 위치한 ASML 본사를 찾아 EUV 장비를 살펴보고 있다. [사진 삼성전자]

지난해 10월 이재용 삼성전자 부회장이 코로나19 상황 속에서도 네덜란드 벨트호벤에 있는 ASML 본사를 찾은 이유도 장비 공급계획을 논의하기 위해서였다. 한태희 성균관대 시스템반도체공학과 교수는 “반도체공장을 짓는 과정에서 부지나 건물은 20~30%다. 장비와 유틸리티가 차지하는 비중이 그만큼 높다”며 “ASML의 가치를 짐작할 수 있다”고 말했다.

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코로나 뚫고 이재용 부회장이 방문하기도
ASML이 시장 패권을 좌우하는 주요한 이유는 한해에 생산 가능한 장비가 30~40대에 그쳐서다. 반도체 업체 한 곳이 한 대를 가져오면 경쟁사가 이를 빼앗기는 제로섬 성격을 띤다. ASML은 지난해 31대, 올해는 40여 대를 출하할 계획이다.

높은 기술장벽 때문에 업계에선 ‘버릇없는 회사’로 불리기도 한다. 현재는 주문이 밀려 있어 장비를 받으려면 1년 이상 기다려야 한다. 일단 장비를 만드는 데만 5개월이 걸린다. 무게 180t, 높이 4~5m 되는 기계 안에 총 10만 개의 부품이 들어간다. 내부 기압은 대기의 10만 분의 1 수준을 유지해야 하고, 0.005도 단위로 온도를 제어하는 기술도 필요하다. ASML이 EUV 장비를 개발하고 상용화하는 데 20년이 걸렸을 정도다. 대당 가격은 1500억~2000억원, 최근엔 3000억원까지 부르고 있는 것으로 알려졌다

김형태 신한금융투자 연구원은 “미세공정 수요가 증가하면서 EUV 장비의 역할이 부각될수록 ASML의 기업 가치가 커질 것”이라며 “장비 업종 내에서 가장 완벽한 독점구조를 구축했다”고 평가했다

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올해 40여 대 생산 예정…대당 최고 3000억

지난해 피터 베닝크 ASML CEO(오른쪽)가 실적 발표를 하고 있는 모습. [로이터=연합뉴스]

미국 나스닥시장에 상장된 ASML의 주가도 고공행진 중이다. 지난 22일(현지시간) 기준으로 시가총액은 264조1600억원으로, ‘반도체 제왕’으로 꼽혔던 인텔(256조 5700억원)을 넘어섰다. 지난해 매출은 140억 유로(약 18조7000억원), 순이익 36억 유로(약 4조8000억원)로 사상 최고였다. 피터 베닝크 ASML 최고경영자(CEO)는 “올해 EUV 장비의 매출 목표는 지난해보다 약 30% 증가한 45억 유로(약 6조원)”라고 말했다.

권유진 기자 kwen.yujin@joongang.co.kr