中 떠나 韓으로…반도체 장비 거점 대이동

글로벌 부품업계 脫중국 가속페달
ASML 마지막으로 빅4 한국 집결
R&D·수리센터 등 신설 대형 호재
대만과는 주도권 경쟁 더 심해질듯

초미세 반도체 공정에 필수적인 극자외선(EUV) 노광장비 독점기업인 네덜란드 ASML을 비롯해 글로벌 장비업계 '빅4'가 국내 직접투자를 단행하면서 한국이 반도체 장비 분야에서 중국의 대체지로 급부상하고 있다. 특히 미·중 간 반도체 패권경쟁 격화로 탈중국에 나선 글로벌 메이저 장비사들이 한국으로 이동하면서 대만과 글로벌 반도체 장비산업의 주도권 경쟁이 점화되고 있다.

■글로벌 빅4, 국내 거점 마련

20일 관련업계에 따르면 ASML이 지난 16일 경기 화성 삼성전자 반도체공장 인근에 조성하는 '화성 뉴 캠퍼스'가 착공에 들어가면서 글로벌 반도체 장비시장에서 60% 이상의 점유율을 차지하는 상위 4개사의 연구개발(R&D) 기지가 한국으로 모이게 됐다. 약 2400억원이 투입된 ASML 화성캠퍼스에는 반도체 노광장비 수리센터, 차세대 반도체 노광장비 기술센터 등이 들어설 예정이다. 어플라이드머티리얼스(AMAT)는 지난 7월 산업통상자원부와 투자의향 업무협약(MOU)을 체결하고 경기도 일대에 R&D센터를 짓는다고 발표했다. 도쿄일렉트론(TEL)은 올해 2000억원을 투자해 기존 R&D시설을 증축하기로 했다. TEL은 2012년 글로벌 반도체 장비기업 중 가장 먼저 국내(경기 화성)에 R&D센터를 설립했다. 램리서치는 지난 4월 경기 용인 지곡산업단지에서 R&D시설인 코리아테크놀로지센터(KTC)를 개소했다.

■中 대체지 놓고 대만과 승부

한파를 맞은 국내 반도체 업계에서는 글로벌 반도체 장비사들의 국내 진출을 크게 반기고 있다. 업계 관계자는 "반도체 장비 확보 경쟁이 치열한 상황에서 글로벌 기업들이 R&D센터와 수리센터 등을 건설하는 것은 삼성전자, SK하이닉스뿐만 아니라 국내 소재·부품·장비 기업들에도 글로벌 기업의 기술과 노하우를 얻는 기회가 될 것"이라고 내다봤다.

김양팽 산업연구원(KIET) 전문연구원은 "삼성전자와 SK하이닉스 등 거대 수요기업이 있기 때문"이라면서 "최근 미국의 대중국 견제가 심해지고 있는 상황에서 아시아 진출을 위한 교두보로 한국을 낙점한 것으로 보인다"고 분석했다.

이런 가운데 미국 상무부가 지난 10월 미국 기업의 대중국 반도체 장비 수출을 사실상 금지하면서 중국의 '대체지'를 놓고 한국과 대만의 경쟁이 치열해지고 있다. 대만 언론에 따르면 ASML은 내년 1조2000억원을 투입해 대만 북부 신베이시 인근에 신규 공장 건설에 들어갈 계획이다. 앞서 ASML은 최대 고객인 대만의 파운드리(반도체칩 위탁생산) 업체인 TSMC가 소재한 대만에 생산기지를 구축하고 대규모 투자를 이어왔다.