반도체 세정장비 특화한 제우스, ‘산업용 로봇’도 성과낼까

지난 1일 서울 코엑스에서 열린 세미콘 코리아 2023 제우스 부스 전경. (사진=김수민 기자)

반도체·디스플레이·로봇 장비 기업 제우스가 반도체 세정장비 특화와 신사업으로 육성하고 있는 산업용 로봇을 통해 더 큰 도약을 준비하고 있다.

제우스는 반도체 공정의 습식(Wet) 장비와 열처리 장비, 디스플레이 패널의 열처리 장비, 산업용 로봇 등을 생산하는 회사다. 2022년 3분기 누적 매출 기준 반도체 장비가 전체 매출의 61.4%를 차지한다. 이밖에 디스플레이 및 태양전지 장비가 15.7%, 산업용 로봇 및 펌프가 18.8%를 차지하고 있다.

제우스의 눈여겨볼 핵심 경쟁력은 반도체 세정장비 특화, 중소형 산업용 로봇 등이 손꼽힌다.

제우스는 여타 반도체 장비사와 달리 반도체 세정장비를 특화해 시장에 대응했다. 세정공정에 사용되는 싱글 웨이퍼 세정장비, 배치(Batch) 웨이퍼 세정장비를 중심으로 전공정과 후공정 전반의 설비를 제조·공급하고 있다. 싱글형(매엽식)은 반도체 웨이퍼의 불순물을 한 장씩 처리하며, 배치식은 한번에 20~50장의 웨이퍼를 처리한다.

최근 반도체 산업은 미세공정의 발달로 인해 세정 공정의 중요성이 커지고 있다. 제우스는 매엽식 장비, 배치식 장비를 모두 보유하고 있는 국내 유일 업체다. 2021년 화성 신사옥을 준공하며 생산능력을 확대했고, 배치식 장비의 국산화에 성공하면서 성장세를 이어오고 있다.

제우스는 2021년 연결기준 연간 매출 4008억원 영업이익 249억원을 기록했다. 전년 대비 각각 25.6%, 36.8% 성장했다. 금융정보업체 에프앤가이드에 따르면 2022년 연간 매출 5033억원, 영업이익 469억원으로 역대 최대 실적을 달성할 전망이다.

2022년 3분기 누적 기준 수주총액은 8557억원으로 전년 동기(6230억원) 대비 37.4% 증가했다. 같은 기간 수주잔고는 3388억원에서 4955억원으로 46.2% 늘었다.

제우스는 현재 웨이퍼의 대구경화, High-K Metal Gate(누설전류를 효과적으로 줄일 수 있도록 신물질이 적용된 공정) 등 차세대 공정 이슈에 대응할 수 있는 세정 공정과 30nm(나노미터, 10억분의 1m) 반도체 소자에 대응할 수 있는 매엽식 장비를 개발하고 있다.

반도체 시장은 2022년 하반기부터 글로벌 경기 침체에 따른 공급 과잉으로 침체기에 접어든 상황이다. 그럼에도 제우스는 상대적으로 안정적인 성장이 가능할 것으로 보인다다. 중국 시장의 반도체 투자 확대 영향에 따른 수혜다.

황성환 신한투자증권 책임연구원은 “SMIC, YMTC, CXMT, Huahong 등 주요 업체와 중국 신생 반도체 제조업체들의 CAPA(생산능력) 확대 계획은 대부분 범용 반도체 부문”이라며 “향후 2~3년간 중국은 범용 반도체 시장에서 공격적인 CAPA 확대를 계획하고 있어 제우스 세정장비 수혜는 계속될 것”이라고 내다봤다.

제우스는 지난해 11월 일본 자회사 제이이티(J.E.T)를 도쿄 프로 마켓에서 스탠다드 마켓으로 이전 상장을 추진한다고 공시했다. 제이이티는 중국 시장을 주력으로 세정장비를 공급하고 있는 회사다. 늘어나는 수요에 대응하고, 보다 큰 상위 시장으로의 이전 상장을 통해 자금 조달 통로를 넓히고 인재를 확보겠다는 의도로 풀이된다.

제우스가 신규 성장동력으로 내세운 로봇 사업은 중소형 공업용 로봇 시장을 겨냥하고 있다. 제우스는 공장 자동화를 위한 중소형 산업용 로봇의 독자 플랫폼을 보유하고 있으며, SI(System Integration) 기술 기반의 특수 공정용 커스터마이징 로봇 개발이 가능하다.

제우스는 지난 2019년 산업용 로봇 ‘제로(ZERO)’를 선보이며 시장에 진출했다. 현재 6축관절로봇(6-Axis), 스카라, 델타 등 중소형 로봇 라인업을 보유하고 있다. 또 고객사에서 요구하는 맞춤형 로봇, 자동화 설비 및 생산 라인 턴키 비즈니스를 제공한다. 턴키란 생산자가 공사의 처음부터 끝까지 책임지고 발주자에게 넘겨주는 방식을 말한다.

황 연구원은 “제우스는 관절 구동 모터, 모터 드라이브, 유저인터페이스 등 감속기를 제외한 대부분을 내재화했다”며 “글로벌 산업용 로봇 분야에서도 충분한 가격 경쟁력을 보유하고 있어 산업용 생산라인 적용에 긍정적인 결과가 기대된다”고 말했다.

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