SK하이닉스, ‘친환경 반도체 공정’으로 온실가스 줄인다

SK하이닉스가 지난해 친환경 반도체 공정 기술을 도입하는 등 탄소 감축을 위한 노력을 통해 당초 목표를 상회하는 온실가스 배출량 감축에 성공했다. 회사는 오는 2030년까지 2020년 수준의 온실가스 배출량을 유지하겠다는 목표를 달성하기 위해 친환경 공정 가스를 개발하는 등 감축 노력을 지속한다는 방침이다.

24일 SK하이닉스의 ‘지속가능경영보고서 2023’에 따르면, 지난해 SK하이닉스의 온실가스 배출량은 717만톤(이산화탄소 환산량)으로 1년 전 764만톤에서 6.15% 감소했다. 이는 회사가 당초 예상한 목표치와 비교해 21만톤 줄어든 수치다.

지난해 SK하이닉스가 줄인 온실가스 배출량 감축분 대부분은 간접배출(Scope 2)에 해당한다. 통상 온실가스의 경우 제품 생산 단계에서 발생하면 직접배출(Scope 1), 사업장에서 쓰는 전기를 만드는 과정에서 생길 경우엔 간접배출로 구분한다. 해당 기준에 따르면, 지난해 SK하이닉스의 온실가스 간접배출은 423만톤으로 전년 대비 15.4% 줄었다. 반면 같은 기간 직접배출은 294만톤으로 11.79% 증가했다.

SK하이닉스의 온실가스 직접배출이 늘어난 이유는 지난해 연초 경영 계획 대비 추가 생산이 이뤄지면서 기존에 수립했던 목표보다 배출량이 증가했기 때문이다. 지난해에는 생산량이 증가하면서 공정가스 배출량이 오히려 5.2% 늘었고, 연간 목표였던 4% 감축에 실패했다. 이에 따라 SK하이닉스는 오는 2030년까지 공정가스 배출량을 2020년 대비 40% 이상 줄일 계획이다.

SK하이닉스가 반도체 생산능력을 지속 확대하는 과정에서 공정에 투입되는 특수가스 사용량은 덩달아 증가할 수밖에 없는 구조다. 회사는 환경에 영향이 적은 지구온난화지수(GWP)가 낮은 대체 가스를 개발하는 데 주력하고 있다.

SK하이닉스 온실가스 배출량 추이 (자료=SK하이닉스 ‘지속가능경영보고서 2023)

먼저 공정 6대 온실가스인 이산화탄소(CO2), 메탄(CH4), 아산화질소(N2O), 수소화불화탄소(HFCs), 육불화황(SF6), 과불화탄소(PFCs)에 삼불화질소(NF3)까지 공정 가스를 대체하기 위해 소재, 장비 기업과 협력하고 있다. 올해는 대체 가스 적용을 통한 탄소 배출 저감량 예측 체계를 구축했다. 이를 바탕으로 예측값을 측정해 저감 목표치를 달성하기 위한 방안을 발굴하고 실행할 계획이다.

SK하이닉스는 공정에 투입되는 과불화탄소와 삼불화질소 일부를 대체 가스로 전환해 온실가스 배출량을 줄였다. 과불화탄소는 반도체 공정의 식각 과정에 사용되는데 수명이 길고 GWP가 매우 높아 대기 중에 오래 머물며 환경에 심각한 영향을 미친다. SK하이닉스는 탄소관리위원회 산하 공정 기술 분야 전문가로 구성된 공정 가스 사용 저감 전담반(TF)을 지난해 1월 조직해 감축 활동을 벌여왔다. TF는 삼불화질소가 투입되는 13개 공정의 최적화를 통해 사용량을 25톤 절감함으로써 연간 온실가스 배출량을 1만2029톤 감축했다.

SK하이닉스는 특수 가스를 열분해하는 장치(스크러버)의 효율도 높였다. 작년 국내 사업장 기준 스크러버 처리 효율은 전년 대비 4%포인트 오른 94%를 기록했다. SK하이닉스는 각 특수 가스에 맞는 적합한 스크러버를 설치하고, 스크러버의 부품 상태를 진단해 처리 효율을 높이는 기술도 확보했다. 향후에는 단일 장비마다 스크러버를 설치하는 방식을 넘어 통합 처리 방식으로 나아가 전력 소비는 줄이면서도 처리 효율을 높이는 기술을 도입할 계획이다.

박정호 SK하이닉스 최고경영자(CEO) 부회장은 보고서를 통해 “SK하이닉스는 앞으로도 환경·사회·지배구조(ESG) 경영과 초일류 기술 혁신을 선도하며 이해관계자와 함께 지속가능한 미래를 만들어 나가겠다”고 말했다.