반도체 공정에서 나오는 유해가스·미세먼지 싹 잡는다

가후부 '우수환경산업체' <5·끝> 플라즈마텍
습식 전기집진기 삼성전자에 지속 공급
플라즈마 스크러버 등 핵심 제품 다양
"첨단 산업의 환경 보호 파트너 될 것"

[서울경제]

플라즈마텍은 반도체·디스플레이 등 첨단산업에서 발생하는 대기오염 물질을 제거하는 장비를 생산하는 업체다.

대표 제품은 습식 전기집진기다. 이 장비는 반도체 제조 공정에서 발생하는 미세먼지·유해가스를 제거해 대기에 배출하는 후처리 설비다. 코로나 방전 기술과 고주파 전원 공급 장치를 적용해 안정적으로 설비를 운영할 수 있으며 95% 이상의 높은 효율로 미세먼지를 제거할 수 있다. 우수한 성능 덕에 삼성전자에 10년 넘게 제품을 공급하고 있다. 플라즈마텍 관계자는 “옥상에 설치하는 대형 설비뿐 아니라 반도체 제조 시설 내부에 설치하는 중형 설비도 생산해 범용성을 넓혔다”고 설명했다.

‘플라즈마 스크러버’도 핵심 제품이다. 반도체 공정 중 발생하는 과불화탄소 등 난분해성 유해가스를 고온 플라스마 기술을 활용해 고효율·저전력으로 처리하는 저감 장치다. 이 밖에 2차전지의 핵심 재료로 쓰이는 니켈·실리콘 등 금속 분말을 증발시켜 나노 분말을 합성하는 기술도 보유하고 있다.

지난해에는 반도체 제조 공정에서 발생하는 알칼리 가스, 미세먼지 등을 한번에 처리할 수 있는 ‘복합 오염 물질 처리 통합 시스템’을 선보였다. 이 설비는 물을 사용해 미세먼지를 제거하는 ‘오존산화-습식 스크러버’와 ‘전기집진기’를 통합해 한 시스템에서 오염 물질을 처리할 수 있도록 개발됐다. 기존의 습식 전기집진기 대비 처리 용량을 두 배 이상 늘렸고 고속·습식 환경에서도 더욱 안정적으로 고효율 집진을 할 수 있다.

이러한 기술력 덕분에 플라즈마텍은 올해 기후에너지환경부의 우수환경산업체로 재지정됐다. 이에 향후 해외시장 진출, 협력 네트워크 확대, 연구개발(R&D) 투자에 더 탄력이 붙을 것으로 전망된다.

플라즈마텍 관계자는 “25년간 축적해온 기술력과 품질에 대한 신뢰를 바탕으로 반도체·디스플레이·태양광 등 첨단산업의 환경보호 파트너로 확실히 자리매김하겠다”고 강조했다.

한동훈 기자 hooni@sedaily.com