삼성 등 반도체 공장에서 1급 발암물질 3종 확인

벤젠·포름알데히드는 미량..비소 노출기준 상회
공정과정 물질 결합과정 중 발생..세계 첫 발견
노동계 "발암물질 장시간 노출 시 인체 영향"

[이데일리 이지현 기자] 삼성·하이닉스·페어차일드코리아 등 반도체 공장에서 1급 발암물질인 벤젠·포름알데히드·비소가 처음으로 확인됐다.

6일 산업안전보건연구원이 2009년부터 3년간 실시한 '반도체 제조 사업장 정밀 작업환경평가 연구' 결과에 따르면 백혈병 유발 인자로 알려진 벤젠, 포름알데히드, 전리 방사선 등이 일부 공정에서 부산물로 발생됐다. 폐암 유발 인자로 알려진 비소도 함께 검출됐다.

이들은 작업 공정에 사용되지 않는 물질로, 산업계는 이를 근거로 암 발생과 반도체 공정이 무관하다고 주장해 왔다. 하지만 공정 과정에서 발암 물질이 생성되는 사실이 처음으로 확인돼 향후 반도체 공장 노동 환경 개선이 불가피할 전망이다.

조립 공장에서 사용하는 수지가 180℃에서 분해되며 벤젠 등 휘발성 유기화합물이 부산물로 발생한다는 사실이 실험결과 확인됐다. 확인된 양은 노출 기준(1ppm) 보다 낮은 0.00010~0.00990ppm로 나타났다.

포름알데히드 역시 자연환경 수준(0.001~0.004ppm) 보다 높은 0.002~0.015ppm이 검출됐다. 전리 방사선도 웨이퍼 가공 라인과 반도체 조립 과정에서 방사선 작업 종사자 노출선량 한도(50mSv/yr) 보다 낮지만, 자연환경 수준보다 높은 0.011~0.015mSv/yr로 집계됐다.

▲ 자료:산업안전보건연구원 제공

연구원은 발암 물질이 노출 기준보다 낮게 발생하고 있어 평균 8시간씩 평생 근무해도 인체에 직접적인 영향을 미치지 않는다고 설명했다.

다만 폐암 유발 인자로 알려진 비소가 웨이퍼 가공 라인의 이온 주입 공정(임플란트)에서 노출 기준(0.01㎎/㎥)을 초과하는 양(0.001~0.61㎎/㎥)이 발견됐다.

특히 이온 주입 공정 유지 보수 작업 중 고농도의 비소가 발생하는 것으로 확인됐다. 이를 담당하는 협력 업체 근로자의 경우 노출 위험이 상대적으로 높아, 협력업체 근로자 건강보호 대책 마련도 필요할 것으로 보인다.

노동계는 1급 발암 물질 공식 확인에 대해 높이 평가하면서도 인체에 미치는 영향이 크지 않다는 결과의 경우 불만족스러워 했다.

이상윤 노동건강연대 정책국장은 "발암 물질은 미량이어도 장시간 노출되면 인체에 영향을 준다는 게 학계의 정설"이라며 "대체 물질 개발과 함께 향후 적극적인 규제 정책이 마련돼야 한다"고 강조했다.

이지현 (ljh423@edaily.co.kr)

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