HBM3E용 TC본더 부품 문제 삼아…한화 "불법 행위에 대한 강력 대응 차원"
고대역폭 메모리(HBM)를 제조할 때 필수적으로 사용되는 장비인 TC본더 특허를 놓고 벌이는 한미반도체와 한화세미텍의 자존심 싸움이 맞소송으로 번졌다.
작년 말 한미반도체가 한화세미텍을 상대로 TC본더 특허권 침해 소송을 제기한지 근 1년 만에 한화세미텍도 한미반도체를 상대로 특허침해 소송을 제기한 것.
관련업계에는 두 회사 모두 SK하이닉스를 주요 고객사로 두고 있어, 소송 결과에 따라 향후 경쟁 구도에도 직접적인 영향이 불가피할 것이라는 전망이 나온다.
28일 업계에 따르면 한화세미텍은 최근 TC본더의 핵심 기술과 관련해 특허권을 침해받았다며 한미반도체를 상대로 소송을 냈다.
한화세미텍은 이번 소송에서 한미반도체의 HBM3E용 TC본더에 탑재된 부품 일부를 문제로 삼은 것으로 전해졌다.
한화세미텍 관계자는 "진행 중인 소송으로 구체적인 내용을 밝히기는 어렵다"면서도 "장비의 핵심 기술 보호와 기술 탈취 및 도용 등 불법 행위에 대한 강력 대응 차원에서 이번 특허 침해 소송을 제기했다"고 설명했다.
이와 관련 한미반도체는 "이번 소송은 사실에 근거하지 않은 적반하장 소송"이라며 "법적 절차를 통해 정당한 권리를 보호하고, 앞으로도 기술 혁신과 고객 신뢰를 최우선으로 하겠다"고 밝혔다.
한편, TC본더는 인공지능(AI) 반도체용 HBM를 제조하는 데 필요한 핵심 장비다. HBM은 여러 D램을 수직으로 쌓아 대역폭을 높이는 메모리로 HBM 생산을 위해서는 열과 압력을 가해 고정하는 TC본더가 필수적이다.
HBM 수요가 확대되면서 한미반도체·세메스·한화세미텍 등이 치열한 수주전을 펼치고 있다.