SK하이닉스 청주 공장서 불소 일부 누출…3,600명 대피 소동

[앵커]

우리 대표 반도체 기업인 SK하이닉스 청주 공장에선 불이 나면서, 위험 물질인 불소가 누출됐습니다.

직원 3천6백여 명이 한때 대피했습니다.

다만, 생산 공정엔 차질이 없었다고 회사 측이 밝혔습니다.

송근섭 기자입니다.

[리포트]

불이 났다는 신고가 접수된 건 오전 10시 반쯤, 공장 내부 스프링클러가 작동하면서 불은 10여 분 만에 잡혔지만, 화재로 불소 일부가 누출됐습니다.

이 과정에서 직원 11명이 한때 이상 증세를 호소해 사내 병원에서 진료를 받았습니다.

내부에 있던 직원 3천6백 명도 방재 작업 등을 위해 대피했습니다.

[SK하이닉스 하청업체 직원/음성변조 : "위급 상황이라고 해서 전체 직원이 다 대피했죠. 팀마다 소장이 있습니다. 소장 인솔 아래 다 대피했습니다."]

불소는 무색의 자극성 유독 기체로, 독성이 강한 것으로 알려져 있습니다.

반도체 생산 공정 중에선 질소와 섞어 오염물 제거에 쓰이는데, 가스 주입 과정에서 배관에 문제가 생겨 누출된 걸로 당국과 회사는 추정하고 있습니다.

[이상진/충북대학교 반도체공학부 교수 : "(일반적으로) 박막(얇은 막)을 증착(형성)하는 공정에서 챔버(장비 내부 공간)에 생기는 불순물을 제거하기 위해서 NF3(질소-불소 화합물) 가스를 씁니다."]

가스 누출 이후 회사 측은 환경정화 장비를 가동했고, 남아있는 가스 제거 작업은 3시간 만에 끝났습니다.

[SK하이닉스 공장 관계자/음성변조 : "(화재 진압은) 다 끝나긴 했어요. (어떻게 정리가 됐어요?) 저희가 듣기로는요."]

SK하이닉스 측은 장비 가동에는 문제가 없어 화학물질 누출로 인한 생산 공정 차질은 없었다고 전했습니다.

KBS 뉴스 송근섭입니다.

촬영기자:김장헌/영상편집:오진석

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송근섭 기자 (sks85@kbs.co.kr)