주성엔지니어링, 세계 최초 ALG 반도체 제조장비 출하

글로벌 기업에 공급

황철주(가운데) 주성엔지니어링 회장이 16일 열린 ALG 제조 장비 출하식에서 직원들과 포즈를 취하고 있다. 사진제공=주성엔지니어링

반도체 장비 대표 기업 주성엔지니어링(036930)이 세계 최초로 원자층박막성장(ALG) 제조 장비를 글로벌 반도체 기업에 공급하는 출하식을 열었다고 18일 밝혔다.

주성엔지니어링의 ALG 장비는 기존의 원자층증착(ALD) 장비를 진화시킨 것으로 공정 정밀도를 크게 높일 수 있는 기술로 평가받는다. 특히 초미세 반도체 공정에서 수율 하락 문제를 해결할 수 있을 것으로 주목받고 있다. ALD 장비가 원자층을 한 겹씩 쌓는 방식이라면 ALG 장비는 원자가 스스로 결합해 웨이퍼 내 한정된 공간에서도 밀도와 수율을 유지할 수 있다. ALD 장비가 증착 과정에서 발생할 수 있는 균일도 문제를 개선한 것이다.

인공지능(AI) 산업의 급성장과 함께 고성능 반도체 기술의 중요성이 높아지면서 ALG 장비가 채택된 것으로 분석된다. 주성엔지니어링 측은 “전 세계 반도체 산업은 AI가 생활화됨에 따라 상상을 초월한 빠른 속도로 발전하고 있다”면서 “AI 연산에 필수적인 고집적향 수직 적층 구조의 차세대 트랜지스터를 제조하기 위해서는 균일도 확보가 요구되는데 자사는 세계 최초의 ALG 기술을 바탕으로 수직 적층 구조에서도 균일한 박막 성장과 증착이 가능한 장비를 시장에 선보였다”고 설명했다.

주성엔지니어링은 ALG 기술이 반도체에 이어 디스플레이, 태양광 장비에도 확대 적용될 것으로 기대하고 있다. 회사 관계자는 “단순 공정 장비 제작을 넘어 AI 시대에서 반도체 제조기술의 새로운 기준과 표준을 만들어 가고 있다”면서 “앞으로도 세계 최초 혁신 기술을 바탕으로 세계 반도체, 디스플레이, 태양광 제조 산업의 새로운 패러다임을 제시하겠다”고 밝혔다.

김기혁 기자 coldmetal@sedaily.com