SK하이닉스 청주 공장서 불소 일부 누출…3,600명 대피 소동

[KBS 청주] [앵커]

오늘 청주의 SK하이닉스 공장에서는 화재와 함께 불소가 누출돼, 한때 직원 3,600여 명이 대피했습니다.

SK하이닉스 측은 누출된 불소가 극소량이었고, 반도체 생산 공정에는 차질이 없었다고 밝혔습니다.

보도에 송근섭 기자입니다.

[리포트]

불이 났다는 신고가 접수된 건 오전 10시 반쯤, 공장 내부 스프링클러가 작동하면서 불은 10여 분 만에 잡혔지만, 화재로 불소 일부가 누출됐습니다.

이 과정에서 직원 11명이 한때 이상 증세를 호소해 사내 병원에서 진료를 받았습니다.

내부에 있던 직원 3천6백 명도 방재 작업 등을 위해 대피했습니다.

[SK하이닉스 하청업체 직원/음성변조 : "위급 상황이라고 해서 전체 직원이 다 대피했죠. 팀마다 소장이 있습니다. 소장 인솔 아래 다 대피했습니다."]

불소는 무색의 자극성 유독 기체로, 독성이 강한 것으로 알려져 있습니다.

반도체 생산 공정 중에선 질소와 섞어 오염물 제거에 쓰이는데, 가스 배관에서 문제가 발생한 걸로 회사 측은 파악하고 있습니다.

[이상진/충북대학교 반도체공학부 교수 : "(일반적으로) 박막(얇은 막)을 증착(형성)하는 공정에서 챔버(장비 내부 공간)에 생기는 불순물을 제거하기 위해서 NF3(질소-불소 화합물) 가스를 씁니다."]

가스 누출 이후 회사 측은 환경정화 장비를 가동했고, 남아있는 가스 제거 작업은 3시간 만에 끝났습니다.

[SK하이닉스 공장 관계자/음성변조 : "(화재 진압은) 다 끝나긴 했어요. (어떻게 정리가 됐어요?) 저희가 듣기로는요."]

SK하이닉스 측은 장비 가동에는 문제가 없어 화학물질 누출로 인한 생산 공정 차질은 없었다고 전했습니다.

KBS 뉴스 송근섭입니다.

촬영기자:김장헌

송근섭 기자 (sks85@kbs.co.kr)