에이아이비즈, " AI 이상진단 솔루션 '반도체 현장' 양산 테스트 성공"

사진제공=에이아이비즈

산업용 AI(인공지능) 전문기업 에이아이비즈(AIBIZ)는 최근 산업통상자원부의 양산성능평가지원사업을 통해 국내 한 유수의 반도체 제조사(S사)와 AI 기반의 반도체 현장 적용 및 양산 테스트를 완료했다고 4일 밝혔다. 이 양산 테스트에는 회사의 AI 기반 반도체 공정 진단 솔루션 '더치보이S(DutchBoy S)'가 쓰였다.

'더치보이S'는 에이아이비즈가 독자 개발한 AI 기반 반도체 제조 공정 진단 솔루션이다. 센서 기반 시계열 데이터를 실시간으로 분석, 공정 이상을 조기 탐지하고 불량 원인을 규명할 수 있는 게 특징이다. 장비 간 정합성까지 진단하는 고도화된 AI 플랫폼이라고 업체 측은 설명했다.

이번 양산 테스트는 실제 반도체 공정에서 진행됐다. △품질 이상 탐지 정확도 △공정 간 정합성 판별 △실시간 알람 응답률 등 다양한 항목에 대한 기술 성능을 평가했다.

에이아이비즈는 이번 사업으로 '공정 내 AI 이상 진단 기술' 등을 검증했다. 아울러 설비 간 센서 기준값을 기반으로 한 '설비 장비 동일성 검증'(Tool-to-Tool Matching, TTTM) 기능으로 정합성 문제를 실시간 추적·보정할 수 있음을 입증했다.

하승재 에이아이비즈 대표는 "이번 양산 테스트에 성공하면서 당사 AI 솔루션이 실제 제조 현장에서 높은 신뢰성과 성능을 발휘할 수 있음을 보여줬다"며 "앞으로도 반도체뿐만 아니라 2차전지, 디스플레이 등 다양한 고정밀 산업군으로의 확산을 추진할 것"이라고 말했다.

회사는 이번 양산 테스트 결과를 바탕으로 NEP(신제품) 인증 및 국내외 반도체 장비사와의 온디바이스 AI 모델 공동 개발 등 상용화 확대에 박차를 가한다는 계획이다.

이유미 기자 youme@mt.co.kr