인투코어테크놀로지, ‘플라즈마 기술’로 기후테크 산업 선도

전 세계적으로 기후변화 위기의 심각성이 대두되며 탄소 배출량 공식 의무 및 친환경 정책 기조가 확대되고 있다. 이에 따라 기업의 ESG 경영에 대한 사회적 요구가 높아지면서 기후테크가 녹색성장을 이끄는 동력으로 떠오르는 중이다.

이런 흐름 속 딥테크 벤처기업 인투코어테크놀로지(EN2CORE Technology, 이하 인투코어)는 환경(Environment)과 에너지(Energy)의 앞자인 ‘EN’을 두 번 강조한 사명에 걸맞은 독자적인 기후테크 기술로 업계 이목을 끌고 있다.

지난 2014년 설립된 인투코어테크놀로지는 환경에너지를 기업 경영의 핵심 키워드로 삼고 있는 친환경 에너지 전환·생산 기업이다. 설립 이후 3년 이상 기술 개발에 매진한 끝에 친환경 에너지 산업에 적용할 수 있는 플라즈마 기술인 ‘2L2-ICP’와 ‘SOSWIT technology’를 개발했다.

플라즈마는 초고온에서 음전하를 가진 전자와 양전하를 띤 이온으로 분리된 기체 상태를 말하며, 물질의 표면을 처리하는데 주로 쓰인다. 특히 반도체에서 증착, 식각, 세정 등 전체 공정 중 80% 이상의 과정에 적용되는 핵심기술로 알려졌다.

인투코어의 2L2-ICP와 SOSWIT technology는 폐기물에서 배출되는 바이오 가스를 메탄올, 친환경 수소 등 친환경 에너지로 전환하는 독자적인 플라즈마 기술이다. 매립지에서 생성된 이산화탄소와 메탄 가스를 플라즈마 리포밍 기술로 분해, 재합성 과정을 거쳐 메탄올로 변환하는 실증 사업에 성공했다.

인투코어는 독자적인 플라즈마 기술을 바탕으로 바이오 가스를 합성가스(H2+CO)로 변환시켜주거나 메탄을 직접 분해하여 고체 카본과 수소를 생산하는 플라즈마 장치를 개발했다. 플라즈마 장치를 통해 생성한 합성가스는 다양한 화학 전환 공정과 연계를 통해 수소, 메탄올, 항공유 등 다양한 에너지원으로 전환할 수 있는 화학적 합성의 기초원료가 된다.

주력 제품 중 하나인 반도체용 RPS(Remote Plasma System)의 경우 가스를 분해하여 챔버 세정뿐만 아니라 식각, 증착, 세정 등 제조용으로도 사용할 수 있는 플라즈마 장치다. 기존 반도체용 RPS와 달리 원격 방식으로 플라즈마를 이격시켜 플라즈마 데미지를 줄인 것이 특징이다. 원자층 단위로 식각하고 증착하는 최선단 공정에 적용 가능하다는 점에서 타 플라즈마 장치와 차이를 보인다. 심플한 원통형의 반응기 구조로 다양한 소재를 사용할 수 있으며, 순수 세라믹을 사용해 파티클 문제까지 원천적으로 해결했다.

제품은 삼성 납품을 시작으로 국내외 유수의 반도체 제조용 장비사와의 협업이 활발히 이뤄지고 있다. 2022년에는 SK하이닉스 및 중국의 SMIC에서 양산 인증을 획득했으며, 올해는 장영실상을 수상하며 그 우수성을 인정받았다. 이에 앞서 지난해에는 SK그룹에서 주관하는 ‘임팩트 유니콘’에 선정돼 SK그룹사와 비즈니스 모델 개발 및 투자유치 등 다양한 협업을 진행 중에 있다. 최근 수도권매립지관리공사와 공동연구개발 협약을 체결해 바이오가스를 고체카본과 청정수소로 전환하는 실증을 수행할 계획이다.

인투코어테크놀로지 엄세훈 대표는 “반도체 사업에서 플라즈마 장치의 성공적인 양산 진입을 기반으로 성장을 거듭하고 있다”며 “환경부, 중기부, 과기부 등에서 주관하는 다양한 실증사업의 결과를 바탕으로 미래의 신사업을 개척을 통해 기후테크 산업 발전에 이바지하겠다”고 전했다.

한편 인투코어테크놀로지는 최근 중소벤처기업부에서 진행하는 초격차 스타트업 1000+ 프로젝트에 선정됐다.

조효민 기자 jo.hyomin@joongang.co.kr