日수출규제 맞서 반도체 소재 국산화… 이준혁 동진쎄미켐 회장 금탑훈장

벨기에 연구기관 직접 찾아 EUV 감광액 개발 협력
국산 감광액, 2022년 삼성전자 양산 공정 도입

이준혁 동진쎄미켐 회장. [동진쎄미켐 제공]

이준혁(사진) 동진쎄미켐 회장이 반도체 핵심 소재를 국산화한 공로로 금탑산업훈장을 받았다. 일본의 수출규제에 대응해 극자외선(EUV)용 포토레지스트(감광액)를 개발하고 국내 반도체 공급망을 안정시키는 데 기여했다.

산업통상부는 21일 서울 강남구 그랜드 인터컨티넨탈 서울 파르나스에서 열린 제19회 '반도체의 날' 기념식에서 이 회장에게 금탑산업훈장을 수여했다.

반도체의 날은 1994년일 반도체 수출 100억달러 달성을 기념해 제정됐다. 한국 반도체 산업은 이후 32년 만에 한달 수출액만 600억달러를 넘어서는 수준으로 도약했다.

이 회장이 기술 개발에 힘을 쏟은 계기는 2019년 일본의 반도체 소재 수출 규제였다. 일본이 포토레지스트 등 핵심 소재의 수출을 통제하자 국내 반도체 기업들은 안정적인 공급처 확보에 나섰다.

포토레지스트는 빛에 반응하는 화학물질로, 반도체 웨이퍼에 미세한 회로를 새길 때 사용한다. 특히 EUV용 감광액은 개발과 검증이 까다로워 국내 반도체 기업들의 해외 의존도가 높았다.

이 회장은 2020년 벨기에 반도체 연구기관 아이멕(IMEC)을 직접 찾았다. EUV 노광장비를 갖춘 연구기관과 협력해 소재 개발에 필요한 시험 환경을 확보하기 위해서다.

EUV 노광장비는 가격이 수천억원에 달해 소재기업이 자체 시험시설을 갖추기 어렵다. 동진쎄미켐은 아이멕에 연구 인력을 파견해 소재 성능을 시험하며 기술 개발을 이어갔다.

국내 생산시설에도 투자했다. 동진쎄미켐은 2021년 5월 약 200억원을 들여 경기 화성 발안공장에 포토레지스트 제조시설을 추가로 지었다. 새 공장의 최대 생산능력은 월 3만2000갤런으로, 당시 기존 생산능력의 4배에 달했다.

동진쎄미켐은 불화크립톤(KrF)과 불화아르곤(ArF)용 감광액에 이어 EUV용 제품까지 생산한다는 목표를 세웠다. 이 회장은 당시 공장 준공식에서 안정적인 소재 공급을 위해 생산시설을 늘렸다고 설명했다.

연구개발 인력도 확충했다. 동진쎄미켐은 2020년 김영선 전 ASML코리아 대표를 부회장으로 영입하고 이듬해 EUV용 감광액 연구 인력을 추가로 확보했다.

연구 성과는 실제 반도체 생산으로 이어졌다. 삼성전자는 2022년 동진쎄미켐이 개발한 EUV용 포토레지스트를 일부 양산 공정에 처음 도입했다. 삼성전자 화성사업장에서 수개월간 성능을 검증한 뒤 한 개 공정에 적용했다.

해외 기업에 의존하던 첨단소재를 국내에서 개발해 실제 반도체 생산에 사용했다는 의미가 있다. 일본의 수출규제 이후 약 3년 만에 거둔 성과였다.

1967년 설립된 동진쎄미켐은 발포제 사업으로 출발해 1989년 국내 최초로 반도체용 포토레지스트를 개발했다. 이후 반도체와 디스플레이 소재로 사업을 넓혔다.

이 회장은 창업주인 고(故) 이부섭 회장의 차남이다. 지난해 2월 부친이 별세하면서 단독 대표를 맡았다. 반도체 핵심 소재를 국산화하고 생산시설을 확충한 공로가 이번 수훈으로 이어졌다.

한편 이날 기념식에서 이종명 삼성전자 부사장은 은탑산업훈장을 받았다. 이 부사장은 세계 최고 원천기술 확보 및 반도체 제품 상용화, 소재·부품·장비 공급망 안정화 등에 기여한 공로가 인정됐다. 권재순 SK하이닉스 부사장과 김영부 큐알티 회장은 동탑산업훈장을 받았다.

세종=김우람 기자 kwr@dt.co.kr