KTR, 반도체·디스플레이 온실가스 배출·감축계수 114건 개발
[수소신문] 한국화학융합시험연구원(KTR)이 기후에너지환경부의 신기후체제대응 환경기술개발사업 중 '비이산화탄소 온실가스 배출계수 개발' 과제를 통해 온실가스 배출계수 80건과 감축계수 34건 등 총 114건을 개발했다.
실제 생산 현장과 온실가스 저감시설에서 측정한 데이터를 활용해 배출량 산정의 정확도를 높이고 국제 데이터베이스 등재를 통해 국내 개발 계수의 활용 기반도 마련했다.
이번에 개발한 계수는 국내 반도체·디스플레이 생산공정과 온실가스 저감시설에서 직접 측정한 데이터를 토대로 마련됐다.
기존에 활용하던 기본 계수로는 충분히 반영하기 어려웠던 공정별 배출 특성과 저감설비의 운전조건을 실제 측정값에 기반해 산정할 수 있도록 했다.
그동안 반도체·디스플레이 산업의 온실가스 배출량 산정에는 공정과 저감시설의 종류, 운전조건에 따른 차이를 충분히 반영하지 못하는 기본 계수가 활용돼 왔다.
이에 KTR은 2022년부터 국내 생산 현장에서 온실가스의 공정파괴율과 부생가스 발생비율, 저감시설의 가스 제거효율 등을 측정하고 관련 데이터를 축적해 왔다.
공정파괴율은 제조공정에 투입된 가스가 식각·증착 과정에서 분해되거나 소모되는 비율을 의미한다.
부생가스 발생비율은 투입 가스가 공정 중 반응하면서 다른 종류의 온실가스로 전환돼 새롭게 생성되는 비율이다.
이같은 특성을 배출량 산정에 반영하면 실제 공정에서 발생하는 온실가스 배출량을 보다 정밀하게 파악할 수 있다.
KTR이 개발한 배출계수 80건은 반도체 식각공정에 사용되는 주요 식각가스의 공정파괴율과 부생가스 발생비율 등을 반영했다.
감축계수 34건은 연소식·플라즈마식 배출가스 제거장치인 스크러버의 운영방식과 온실가스 종류, 공정조건에 따른 저감효율을 반영해 마련됐다.
실제 현장에 새로 개발한 계수를 적용한 결과 온실가스 배출량은 기존 기본 계수를 사용했을 때보다 최대 20% 낮게 산정됐다.
이는 실제 제조공정과 설비 운전조건에 따라 배출량 산정 결과가 달라질 수 있음을 보여주는 것으로 산업 현장의 온실가스 배출량을 보다 정확하게 산정하는 데 도움이 될 것이라는 기대다.
특히 이번에 개발한 114건의 계수는 기후변화에 관한 정부간 협의체(IPCC)의 배출계수 데이터베이스(EFDB)에 등재됐다.
IPCC EFDB는 국가 온실가스 인벤토리 작성자와 연구자 등이 온실가스 배출계수 관련 측정자료를 검색하고 활용할 수 있도록 구축한 데이터베이스다.
이번 등재로 국내 반도체·디스플레이 제조공정에서 확보한 실측 기반 계수가 국제적인 온실가스 배출량 산정과 연구에도 활용될 수 있게 됐다.
이승렬 KTR 원장은 "제조 현장에서 4년여간 축적한 데이터를 통해 공정 특성이 반영된 온실가스 배출·감축계수 114건을 개발했다"라며 "반도체·디스플레이 산업의 온실가스 배출량을 보다 정확하게 산정할 수 있는 기반을 마련했다는 점에서 의미가 크다"고 말했다.