[단독] 에프에스티, 핀란드 카나투 장비 증설…삼성 2나노 CNT 펠리클 양산 확대

카나투 CNT100 SEMI 장비 발주…선발주 포함 계약금액 500만유로 이상
2027년 도입 예정…삼성 2나노 양산 앞두고 CNT 펠리클 생산능력 확대

에프에스티(FST) CI [사진=FST]

반도체 펠리클 기업 에프에스티(FST)가 핀란드 카나투의 탄소나노튜브(CNT) 펠리클 생산장비를 추가로 확보한다. 삼성전자의 2나노미터(㎚) 파운드리 공정에 적용할 CNT 펠리클 양산에 대비해 생산능력을 키우는 것으로 풀이된다. CNT 펠리클 사업이 기술 개발을 넘어 양산 준비 단계로 접어들고 있다는 분석이 나온다.

25일 투자은행(IB) 업계에 따르면 에프에스티는 핀란드 CNT 기술기업 카나투(Canatu)에 CNT 펠리클 생산용 'CNT100 SEMI' 장비를 발주했다. 이번 주문은 에프에스티가 올해 초 발주한 장기 납기 품목(long-lead time items)의 후속이다. 제작 기간이 긴 부품을 먼저 확보한 데 이어 장비 본체까지 주문했는데, CNT 펠리클 생산량을 늘리기 위한 투자가 본격화된 셈이다.

카나투에 따르면 기존 주문한 장기 납기 품목을 포함한 계약금액은 500만유로(약 80억원) 이상이다. 기술 로열티와 소모품 판매 등에서 발생할 매출은 포함되지 않았다. 장비는 2027년 에프에스티에 인도될 예정이다.

CNT100 SEMI는 CNT 펠리클의 핵심 소재인 CNT 멤브레인을 만드는 장비다. 에프에스티는 카나투의 장비와 기술을 활용해 극자외선(EUV) 공정에 쓰이는 CNT 펠리클을 개발하고 있다.

펠리클은 반도체 회로를 새길 때 사용하는 마스크를 먼지 등 이물질로부터 보호하는 얇은 막이다. 반도체 회로가 미세해질수록 작은 이물질도 불량으로 이어질 수 있어 펠리클의 중요성이 커진다. 특히 EUV 공정에서는 강한 빛을 견디면서도 빛을 잘 통과시키는 펠리클이 필요하다. CNT 펠리클은 탄소나노튜브를 얇은 막 형태로 만든 것으로, 높은 빛 투과율과 내열성이 장점으로 꼽힌다. 

에프에스티와 카나투의 협력은 양산을 목표로 단계적으로 확대돼 왔다. 카나투는 2024년 9월 에프에스티에 첫 CNT100 SEMI 장비를 공급했으며 해당 장비와 후처리 설비는 지난해 7월 고객 승인을 받았다. 지난해 10월에는 카나투가 에프에스티에 CNT 펠리클 상업생산 라이선스를 부여했다. 에프에스티는 올해 초 새 장비에 필요한 부품을 먼저 주문한 데 이어 이번에 장비 본체까지 발주했다. 카나투 역시 이번 발주가 에프에스티의 CNT 펠리클 생산능력을 늘리기 위한 것이라고 설명했다.

이번 투자는 삼성전자의 2나노 파운드리 양산 준비와 맞물려 더욱 주목받고 있다. 에프에스티는 삼성전자와 CNT 펠리클을 공동 개발해왔으며 삼성전자는 2021년 에프에스티에 약 430억원을 투자해 지분을 확보한 바 있다. 

또 앞서 에프에스티는 삼성전자의 미국 테일러 파운드리 공장에 들어갈 EUV 펠리클 관련 장비도 수주한 것으로 알려졌다. 펠리클 자동 탈부착 장비(EPMD), 펠리클 막·프레임 이물질 검사 장비(EPIS), 이송 용기 검사 장비(EPODIS) 등이 이에 포함된다. 해당 장비들은 CNT 펠리클을 삼성전자 생산라인에서 사용하기 위해 필요한 설비다. 

여기에 CNT 펠리클 생산에 필요한 카나투 장비까지 추가되면서 에프에스티의 관련 생산·장비 역량이 확대될 전망이다. 업계에서는 에프에스티가 삼성전자의 2나노 생산 확대에 맞춰 CNT 펠리클 생산량을 늘릴 준비에 들어간 것으로 보고 있다.

막시밀리안 슬라빈스키 카나투 최고경영자(CEO)는 이번 발주가 CNT 기술과 생산장비에 대한 지속적인 신뢰를 보여주는 동시에 첨단 반도체 제조에서 CNT 펠리클의 시장 기회를 다시 확인한 것이라고 밝혔다.