'뉴파워프라즈마와 특허분쟁' MKS, 특허 무효 이어 정정도 무산

특허심판원 29일 심결...뉴파워프라즈마, 우위 확보

(지디넷코리아=이기종 기자)뉴파워프라즈마와 특허분쟁 중인 미국 MKS가 특허 무효 판단을 받은 데 이어, 정정 시도도 무산됐다. 특허 정정은 무효가 될 가능성이 클 때 청구하는 절차다. 

특허심판원은 지난 29일 MKS가 자사 특허 '반응가스 생성기 내의 플라즈마를 점화 및 유지하도록 전력을 제공하는 방법 및 장치'(등록번호 1220694, 아래 '694 특허)를 상대로 청구한 정정심판을 기각했다. 

MKS는 지난 4월 특허심판원에 '694 특허 정정심판을 청구했는데, 일단 무위로 돌아갔다. MKS는 특허심판원 판단(심결)에 대해 특허법원에 심결취소소송(항소)을 제기할 수 있다. 

'694 특허는 반도체 공정에 사용하는 반응가스 생성기(원격 플라스마 소스)의 전력공급과 점화장치, 제어방법 관련 기술이다. 챔버 세정용 가스를 원격으로 활성화할 때, 플라스마가 켜지는 순간 발생하는 과전류로부터 전력공급장치를 보호하는 기술을 소개하고 있다. 기존에는 복잡한 고속제어 회로에 의존했지만, '694 특허는 회로 내에 공진 인덕터를 고정 배치해 부품 손상을 막는 방법을 설명했다. 

뉴파워프라즈마 RPG (사진=뉴파워프라즈마)

MKS가 정정심판을 청구하기에 앞서 '694 특허의 주요 청구항(권리범위)은 무효라는 판단이 나왔다. 특허심판원은 지난해 12월 MKS의 '694 특허의 청구항 1~7항, 10~17항, 20항, 23~24항이 무효라고 심결한 바 있다. 무효가 된 청구항은 전원부와 공진 회로를 통한 과전류 방지 관련 기술이다. 무효심판 대상이 아니었던 나머지 청구항은 점화부 관련 기술이다. 

뉴파워프라즈마가 이들 청구항을 상대로 2025년 7월 무효심판을 청구했는데, 특허심판원이 모두 받아들였다. 해당 심결에 대해 MKS는 특허법원에 심결취소소송을 접수했다. 

'694 특허 유효성에 대해 특허법원 판단이 나오지 않았지만 현재까지 전체 분쟁에선 뉴파워프라즈마가 앞서 있다.

두 업체가 다투는 원인은 시장 점유율이다. 뉴파워프라즈마와 MKS는 반도체 박막 공정에 주로 사용하는 원격 플라스마 세정장치(RPS:Remote Plasma Source) 시장에서 경쟁 중이다. RPS는 박막 공정 후 챔버 내 부산물 플라스마 세정을 맡는다. RPS는 RPG(Remote Plasma Generator)라고도 불린다. 

뉴파워프라즈마는 RPS 시장에서 MKS, 어드밴스드 에너지(Advanced Energy) 등과 경쟁 중이다. RPS 시장에서 뉴파워프라즈마 점유율은 국내는 1위, 전 세계는 2위다. 전 세계 1위는 MKS다. 뉴파워프라즈마가 국내외 RPS 시장에서 점유율을 늘리자 MKS에서 특허침해를 경고한 것으로 알려졌다. 

지난 1분기 뉴파워프라즈마 실적은 매출 1485억원, 영업이익 135억원이다. 전년 동기보다 매출은 37%, 영업이익은 100억원 늘었다. 뉴파워프라즈마의 자회사 도우인시스는 삼성전자 북 타입 폴더블폰 갤럭시Z폴드8·울트라 등에 필요한 커버윈도 울트라신글래스(UTG)를 양산 중이다. 

이기종 기자(gjgj@zdnet.co.kr)