美 봉쇄 뚫고 ‘DUV’ 양산 성공… “中 반도체 자립 시간 문제”

네덜란드 ASML 성능엔 못 미쳐

그래픽=김현국

미국의 첨단 반도체 장비 규제가 지속되는 상황에서, 중국이 자체적으로 심자외선(DUV)을 이용하는 노광 장비(빛으로 웨이퍼에 회로를 새기는 기계) 생산에 성공했다. 최첨단 극자외선(EUV)보다 이전 세대 기술이지만 자동차와 가전용 성숙 반도체 생산에 폭넓게 쓰여 활용도가 매우 높다. 수출 통제가 오히려 중국산 장비 개발 필요성을 자극하면서 중국 반도체 장비 자립이 이제 ‘시간 문제’가 됐다는 평가가 나온다.

미 IT 매체 디인포메이션 등 외신은 27일(현지 시각) “중국 상하이의 국유 반도체 장비 기업이 중국 최초의 이머전(침지형) DUV 노광 장비 생산을 시작했다”고 보도했다. 침지형은 건식(乾式)에 비해 빛의 집광 능력이 높아 더 미세한 회로를 그릴 수 있다. 이 회사는 올해 약 5대, 내년 약 20대를 만들어 중국 SMIC와 화훙반도체, 창신메모리(CXMT) 등에 공급할 계획이다.

미국은 2019년부터 최첨단 EUV 장비의 중국 수출을 통제했고, 2023년부터는 이머전 DUV 장비 수출도 금지한 상태다. DUV 장비는 보통 28나노(1나노는 10억분의 1m) 전후 공정의 반도체를 만드는 데 활용되지만, 중국 파운드리 업체 SMIC는 DUV 장비로 여러 번 회로를 새기는 ‘다중 패터닝’을 통해 7나노 공정 반도체를 만든다. 수율(합격품 비율)이 낮고 생산 효율이 떨어지는 문제가 있으나, 어떻게든 7나노급 반도체를 만드는 데 성공한 것이다.

중국산 DUV 장비는 네덜란드 ASML의 제품에 비해 성능이 떨어지는 것으로 알려졌다. 하지만 업계는 중국의 자체 장비 생산이 중국 반도체 굴기를 가속화할 것으로 보고 있다.