中, 반도체 DUV 노광장비 양산 착수… ASML, 독점 균열에 주가 5%대 급락[이규화의 글로벌AI]

DUV는 EUV보다 낮은 단계 반도체 제조 장비
상하이 소재 한 국유기업 연내 5대 납품 계획
미·일 규제가 中자국산 기술 자립 가속화 자극
실제 수율이 나오기까지는 넘어야 할 산 많아
월가 “단기 영향 제한적”…장기적으론 충격파

ASML 회사 로고. 로이터 연합뉴스

중국 상하이 소재 한 국유기업이 심자외선(DUV) 노광장비 양산을 시작했으며, 중국의 반도체 파운드리 기업 SMIC와 메모리 기업 CXMT에 공급할 예정이라는 보도가 나왔다.

미국 IT 전문매체 디인포메이션의 27일(현지시간) 보도에 따르면 이 기업은 연내에 수요기업에 제품을 공급할 예정이다.

보도 직후 뉴욕 증시에서는 극자외선 반도체 제조장비 독점 기업 ASML 주가는 5% 이상 하락했다.

미국의 대중국 반도체 장비 수출 규제가 역설적으로 중국의 반도체 장비 국산화 속도를 한층 앞당겼다는 분석이 나온다.

디인포메이션은 이 중국 국영기업이 최근 액침형(이머전) DUV 노광장비의 초기 양산 단계에 진입했다고 전했다. 이 업체는 올해 약 5대의 DUV 장비를 생산하고, 오는 2027년에는 생산량을 20대 수준까지 확대할 계획인 것으로 알려졌다.

초기도입 물량은 중국 최대 파운드리 기업인 SMIC를 비롯해 화홍반도체, 메모리 반도체 제조사업체 CXMT 등 중국 주요 반도체 기업들에 순차적으로 인도될 예정이다.

그동안 최첨단 극자외선(EUV) 장비는 물론 고성능 DUV 장비까지 미국 및 네덜란드 정부의 수출 통제에 막혀 있던 중국 반도체 업계는 자국산 장비를 확보함으로써 생산 라인의 숨통을 트게 됐다고 디인포메이션은 전했다.

다만 중국산 DUV 장비의 기술적 완성도는 여전히 ASML의 최신 장비 수준에 미치지 못하는 것으로 평가된다.

전문가들은 중국 반도체 제조사들이 이 장비를 실제 수율이 나오는 양산 라인에 안정적으로 투입하기까지는 수개월 이상의 검증과 수율 개선 작업이 필요할 것으로 보고 있다.

그럼에도 불구하고 시장이 민감하게 반응한 이유는 시장 지형이 바뀔 수 있기 때문이다. 그간 ASML의 중국 매출 감소는 정부 차원의 ‘규제’에 따른 일시적 현상이었으나, 중국 기업이 대체 장비를 자체 수급하기 시작하면 ASML은 실질적인 ‘시장 상실’이라는 장기적 타격을 입게 된다.

중국은 ASML 전체 매출에서 매우 큰 비중을 차지하는 주요 시장이다. ASML 전체 매출 중 중국 시장이 차지하는 비율은 과거 30%를 웃돌았다. 최첨단 EUV 수출이 금지된 상황에서도 DUV 장비 수요를 바탕으로 핵심 수익원 역할을 해왔다. 시장 조사 기관 및 금융권에서는 이번 중국의 DUV 국산화 성공이 ASML의 단기 매출에 미치는 직접적 영향은 미미하나, 장기적으로 중국 시장 내 DUV 독점 지위가 약화하는 것은 피할 수 없을 것으로 전망한다.

미국이 주도한 대중국 반도체 장비 통제가 결과적으로 중국 기업들의 자체 기술 개발을 자극해 독자적인 공급망을 구축하게 만들었다는 지적이 제기된다.

금융시장에서는 이번 주가 급락을 두고 중국의 기술 자립 선언이 가져온 심리적 충격이 반영된 것으로 보고 있다. 월가 주요 투자은행들은 ASML이 지난해에만 130대가 넘는 액침형 DUV 장비를 출하한 점을 언급하며, 중국의 초기 생산량(올해 5대 수준)이 전체 노광장비 수급 지형을 당장 바꾸기는 어렵다고 분석했다.

그러나 글로벌 반도체 장비 산업의 유일무이한 공룡이었던 ASML의 독점 체제에 금이 가기 시작했다는 점은 명백하다. 중국이 DUV 장비 국산화에 이어 안정적인 수율 확보까지 성공할 경우, 향후 글로벌 반도체 공급망 및 장비 시장의 판도도 재편이 불가피할 전망이다.

이규화 기자 david@dt.co.kr