ASML, 삼성과 회동…EUV 공급 방안 논의

반도체 소부장(소재·부품·장비) 시장을 주도하는 글로벌 기업들이 한국으로 모여들고 있다. 삼성전자와 SK하이닉스 등 국내 반도체 기업과의 협력을 강화하는 동시에 한국을 핵심 연구개발(R&D) 전초기지로 삼기 위해서다.

21일 업계에 따르면 크리스토프 푸케 ASML 최고경영자(CEO)는 이달 초 방한해 전영현 삼성전자 디바이스솔루션(DS)부문장(부회장), 송재혁 DS부문 최고기술책임자(CTO) 등 삼성전자 경영진과 회동했다. 이들은 삼성전자의 10㎚(나노미터·1㎚=10억분의 1m)급 6세대 D램과 7㎚ 이하 파운드리(반도체 수탁생산) 공정에 투입되는 극자외선(EUV) 노광기 공급 방안을 논의한 것으로 알려졌다.

ASML의 EUV 장비 가동에 핵심 장비를 납품하는 독일 기업 역시 한국을 R&D 핵심 허브로 삼고 공세를 강화하고 있다. 자이스는 최근 경기 용인에 세계 최초로 반도체 이노베이션센터를 구축했다. 차세대 고대역폭메모리(HBM) 및 첨단 패키징 공정 수요에 대응하기 위한 조치다. 트럼프 역시 국내 레이저 애플리케이션 센터를 중심으로 기존 자동차 분야를 넘어 인공지능(AI) 레이저 솔루션과 스마트 팩토리 기술 육성으로 역량을 확장 중이다.

머크도 국내에 첨단 반도체 소재 R&D 센터와 생산 인프라 확충에 속도를 내고 있다.

강해령/김채연 기자 hr.kang@hankyung.com