美독주 반도체 검사장비, 국산화로 시장 개척

길기재 아이비젼웍스 대표
유리기판·웨이퍼 검사 등
외산 대비 가격 절반 낮춰
검사속도 30% 이상 향상

길기재 아이비젼웍스 대표

“이차전지 사업에서 쌓은 기술력, 이제는 반도체 검사 장비 시장에서도 성과를 보여주겠습니다”

최근 최근 경기도 용인시 아이비젼웍스 본사에서 만난 길기재 대표(사진)은 신사업에 대한 자신감을 보였다. 2015년 설립된 아이비젼웍스는 이차전지 머신비전 시스템을 국내외 이차전지 제조사 및 장비사에 공급하고 있는 검사 시스템 업체로, 2024년 코스닥에 상장했다.

현재 반도체 검사 장비 시장은 거의 미국의 독주 체제다. 아이비젼웍스는 국산 기술과 장비로 이 시장에 도전장을 내밀었다.

아이비젼웍스가 보유한 머신비전 시스템은 생산 공정 중 발생할 수 있는 미세한 결함을 고성능 카메라, 조명, 영상 처리 소프트웨어(AI)를 활용해 비접촉식으로 자동 검사하는 솔루션이다. 아이비젼웍스는 지난해까지는 이 솔루션으로 이차전지 쪽에서만 230억원의 매출을 기록했다. 최근에는 반도체 검사 장비로 유리기판 검사 솔루션과 웨이퍼 검사 솔루션을 개발해 올해 안에 국내 대기업에 공급할 예정이다.

유리기판 검사 솔루션 분야에 진출한 배경으로는 최근 수요가 늘고 있는 AI 반도체의 경우 유리기판을 채택하는 경우가 많다는 점이 작용했다.

길 대표는 “현재 유리기판 제조사의 가장 큰 애로사항 중의 하나는 ‘공정 중 기판 파손’인데, 원인으로는 매우 미세한 균열인 ‘마이크로 크랙’이 지목된다”며 “수없이 많은 미세 균열을 전부 조사할 수 있는 독점 기술을 개발해 특허도 출원했고, 협력사를 통해 해당 결함 샘플을 지원받아 장비 개발도 진행 중”이라고 했다.

아이비젼웍스는 또 기존 방식과 차별화된 웨이퍼 관련 검사 시스템도 개발하고 있다. 고속으로 두께, 휨, 이물 등 검사를 수행하는 장비다. 기존 제품 대비 검사 속도가 30% 가량 향상되고 검사 정확도도 우수하다는 점이 장점으로 꼽힌다.

아이비젼웍스는 고속 오토포커싱 모듈 기술에도 도전한다. 오토포커싱은 반도체 생산 과정에서 나노 단위의 크기의 이미지에 고속으로 초점을 맞출 수 있게 하는 기술이다. 웨이퍼 검사 솔루션에 꼭 필요한 기술이지만 아직 국산화가 되지 않았다.

전통적인 모터식 자동 초점 렌즈의 경우 나노 크기의 이미지 하나에 초점을 맞추는 데 2~3초의 시간이 소요되지만 고속 오토포커싱 기술을 사용하면 0.001초만에 초점을 맞출 수 있다.

길 대표는 “미국의 고속 오토포커싱 모듈은 한 대에 5억원인데, 이걸 국산화해서 절반 이하로 가격을 낮추려고 한다”라며 “이차전지뿐 아니라 반도체 검사 시스템 사업을 양대 축으로 하는 성장해 K산업 종합 검사 시스템 업체로 도약하는 게 목표”라고 밝혔다.