ASML, 극자외선 노광장비 중국 판매 전면 부인

미국 정부, EUV 노광 장비 중국 반입 우려 제기
ASML "EUV 장비도 관련 부품·모듈 수출한 적 없어" 반박

ASML과 imec이 공동 운영하는 차세대 EUV 노광 기술 연구소. (사진= imec)

[더구루=길소연 기자] 네덜란드 반도체 장비업체 ASML가 최첨단 극자외선(EUV) 노광장비의 중국 반입 우려를 전면 부인했다. 중국에 EUV 장비는 물론 전용 부품이나 모듈을 단 한 대도 수출한 적이 없다며 미국 정부의 판매 의혹을 일축했다. 미·중 반도체 패권 경쟁 속에서 중국이 해당 장비 없이도 자체적인 첨단 반도체 양산 기술을 확보하려 하자 긴장감은 더욱 고조되는 모습이다.

22일 영국 뉴스통신사 로이터(Reuters)에 따르면 ASML은 미국 당국이 자사 최첨단 EUV 장비 중 하나가 중국에 반입되었을 가능성을 우려하고 있다는 보도에 대해 중국에 EUV 장비를 수출한 적이 없다고 부인했다.

EUV 노광 장비는 파장이 매우 짧은 극자외선 광원을 사용해 웨이퍼에 초미세 회로 패턴을 그리는 차세대 반도체 제조 설비이다. 기존 장비보다 압도적으로 정밀한 회로 구현이 가능해, 7나노미터(nm) 이하 초미세 공정에 반드시 필요한 필수재로 꼽힌다. ASML은 전 세계에서 유일하게 EUV 노광 장비를 생산·공급하는 독점 기업이다.

로이터통신은 지난해 말 ASML 출신 엔지니어들이 중국에서 EUV 장비를 역설계해 시제품 시험을 진행하고 있으며, 2028년 상용화를 목표로 하고 있다고 보도한 바 있다. 

이후 미 상무부 등은 최첨단 7나노 이하 공정에 필수적인 ASML의 EUV 노광 장비가 수출 통제를 우회해 중국으로 반입됐을 가능성에 대해 우려를 제기했다. 하워드 러트닉 미 상무부 장관은 ASML 고위 임원들에게 ASML 장비가 수출 통제를 위반한 채 중국에서 가동되고 있을 수 있다고 의심하며 관련 증거를 보유하고 있다고 주장했다.

ASML은 보도 후 제기된 중국 유출 의혹에 대해 EUV 장비를 중국에 수출한 적이 없으며, EUV 장비에 사용하도록 특별히 설계된 부품, 모듈도 수출한 적도 없다고 반박했다.

ASML은 "현재 전 세계에서 정상 가동 중인 300대가 넘는 EUV 장비의 위치를 모두 파악하고 있으며, 중국 본토 내에는 단 1대의 EUV 장비도 없다"고 밝혔다.

이어 "EUV 장비는 스쿨버스 크기의 초대형 설비(약 180톤)로 이동 과정에서 자동 추적 시스템이 작동하기 때문에 ASML의 개입 없이 반출이나 이전이 사실상 불가능하다"고 덧붙였다.

네덜란드 외교부도 ASML의 장비가 중국으로 반출됐다는 의혹을 전면 부인하며 강경 대응했다.

네덜란드 외교부는 성명을 통해 "반도체 제조 장비 수출과 관련해 네덜란드는 유럽 이중용도 규정 및 추가적인 국가 조치를 기반으로 명확한 규칙과 통제 목록을 적용하고 있다"며 "이러한 규정에 명시적으로 해당하는 모든 장비, 부품 및 기술에는 허가가 필요해 무단 반출은 시스템상 불가능하다"고 밝혔다.

네덜란드 정부는 2019년 EUV 장비 수출을 금지한 데 이어, 2023년부터는 고성능 DUV 장비로 통제 범위를 확대해 중국의 첨단 반도체 제조를 철저히 제한하고 있다. 중국은 수출 통제로 인해 ASML의 EUV(극자외선) 노광 장비를 전혀 확보하지 못하고 있다.

미국의 이같은 의혹 제기는 중국이 자체적인 첨단 칩 및 EUV 장비 개발을 추진하는 가운데 불거졌다. 화웨이 등 중국 기업들은 자체 기술을 통해 첨단 칩 양산을 추진하고, ASML 출신 엔지니어를 영입해 EUV 시제품 개발을 시도하는 등 중국이 서방의 장비 없이도 첨단 공정의 돌파구를 마련하려 하자 미국 등 서방 국가들은 중국의 우회 진입로를 원천 차단하고 통제망을 더욱 강화하는 추세이다. <본보 2025년 6월 2일자 참고 : 화웨이, ASML 도움없이 3나노 칩 내년 양산>
 

미국의 의혹 제기는 단순한 진위 확인을 넘어, 미국이 네덜란드 등 동맹국에게 대중국 반도체 장비 수출 통제망을 더욱 강력하게 조이도록 압박하기 위한 정치적 카드라는 분석도 제기된다. 미국은 지난 4월 중국의 첨단 반도체 제조 능력을 억제하기 위해 동맹국들이 미국의 수출 통제에 동참하도록 요구하는 법안을 제안했다. 해당 법안에는 ASML이 제조한 장비가 명시적으로 언급됐다.

동맹국 중심의 압박 강화 속에 유럽-미국 간 통상 갈등 비화 가능성도 제기된다. 대서양 동맹이라는 안보적 협력 관계에도 불구하고, 자국 우선주의와 경제 주도권을 지키기 위한 마찰이 커지는 상황에서 ASML이 미국의 의심을 완벽히 해소하지 못할 경우 미국과 유럽연합(EU) 간의 갈등으로 번질 우려가 커지고 있다.