'또 세계 최초' 주성엔지니어링 ALG 시대 연다

세계 최초 ALG Transistor Full Integration 반도체 제조장비 출하

주성엔지니어링이

[더구루=오소영 기자] 반도체·디스플레이·태양광 장비 대표 기업인 주성엔지니어링은 '세계 최초 ALG(Atomic Layer

Growth) Transistor Full Integration 반도체 제조장비'를 글로벌 반도체 기업에 공급했다고 18일 밝혔다.

현재까지 반도체 산업 기술의 발전은 웨이퍼와 같은 한정된 공간에 더 많은 집(반도체 칩)을 짓는 Tech-Migration(공정 미세화)에 의해 결정됐다. 즉, 한정된 공간에 집과 도로 등을 계속 늘리기 위해 선폭이 나노미터 단위까지 초미세화 됐다. 트랜지스터 소자 또한 미세화 될수록 누설 전류가 증가해 전력 소모가 크게 늘었다.

이에 따라 글로벌 반도체 제조사들은 미세화의 한계를 극복하기 위해 기존 수평 구조의 트랜지스터에서 수직 적층 구조의 트랜지스터(Vertical Channel Transistor)로의 전환에 주목했다. 높은 전자 이동도와 낮은 누설 전류, 높은 열안정성 등의 특징을 가진 차세대 트랜지스터 채널 소재를 상용화하기 위하여 관련 소∙부∙장 기업들과 협업을 이어가고 있다.

특히 고집적향 수직 적층 구조의 차세대 트랜지스터 제조에는 우수한 단차 피복성과 균일도 확보가 요구된다. 주성은 '세계 최초 Only One' 혁신 기술을 바탕으로 고종횡비 수직적층 구조에서도 균일한 박막 성장과 증착이 가능한 '세계 최초 ALG Transistor Full Integration 장비'를 시장에 선보여 세계 반도체 제조 산업의 새로운 기준을 만들어 가고있다. 해당 장비에 적용된 세계 최초 ALG 혁신 기술은 반도체뿐 아니라 디스플레이, 태양광 장비에도 확대 적용될 전망이다.

주성 관계자는 "단순 공정 장비 제작을 넘어 AI 시대에서 반도체 제조기술의 새로운 기준과 표준을 만들어 가고 있다는 것이 핵심"이라며 "앞으로도 세계 최초, Only One 혁신 기술을 바탕으로 세계 반도체, 디스플레이, 태양광 제조 산업의 새로운 패러다임을 제시하겠다"라고 밝혔다.