“초순수 국산화 속도 낸다”…테크로스, 반도체 ‘물 인프라’ 자립 도전

신석주 기자 2026. 4. 29. 10:29
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전 공정 국산화율 90% 이상 달성 목표…‘K-초순수 팀 코리아’ 컨소시엄 주도
반도체 수율 직결되는 핵심 인프라 자립화로 국가 반도체 공급망 안정화 기여

[수소신문] 반도체 산업의 핵심 인프라인 '초순수(UPW)' 국산화가 본격화된다. 테크로스 워터앤에너지가 초순수 생산 전 공정 국산화를 목표로 한 국책과제의 총괄 주관기관으로 선정되면서, 해외 의존도가 높은 반도체용 용수 시장의 구조 변화가 예상된다.

테크로스 워터앤에너지는 지난 15일 기후에너지환경부 산하 환경산업기술원과 '초순수 생산공정 전 과정 국산화 기술개발' 사업 협약을 체결했다고 밝혔다.

이번 사업은 반도체 생산 수율에 직접적인 영향을 미치는 초순수 생산공정의 설계·시공·운영·설비 전반을 국산화하고, 품질 고도화 및 상용화 기반 확보를 목표로 한다.
▲ 파주재이용 RO시설.

초순수는 불순물을 ppt(1조분의 1) 수준까지 제거한 물로, 반도체 웨이퍼 세정 공정에 사용되는 핵심 요소다.

공정 미세화가 진행될수록 수질 기준이 강화되며, 안정적인 공급 여부가 생산성과 직결된다. 실제 대규모 반도체 공장에서는 하루 수만 톤 이상의 초순수가 사용되는 것으로 알려져 있다.

현재 글로벌 초순수 시장은 일본과 유럽, 미국 기업들이 주도하고 있으며, 설계 및 운영 기술을 선점해왔다. 업계에 따르면 시장 규모는 약 20조원 이상으로 추산되며, 반도체산업 성장과 함께 연평균 7~8% 수준의 성장세를 이어가고 있다.

반면 국내는 초순수 설비와 운영 기술 상당 부분을 해외에 의존해 왔다. 특히 핵심 공정 설계와 운영 노하우는 국산화율이 낮아 유지보수 비용 증가와 기술 종속 문제가 지속적으로 제기돼 왔다.

이에 따라 초순수는 소재·부품·장비를 넘어 '인프라형 공급망'으로 분류되며, 반도체 산업의 숨은 취약 고리로 지목돼 왔다.

이번 사업은 이러한 한계를 극복하기 위한 후속 단계로 추진된다. 정부출연금 215억원이 투입돼 향후 5년간 진행되며, 기존 선행 과제에서 달성한 국산화율 70%를 넘어 전 공정 국산화율 90% 이상을 목표로 한다. 아울러 6개월간 무사고·무중단 운영 실증을 통해 안정적 공급 인프라도 구축할 계획이다.

테크로스 워터앤에너지는 수요처 맞춤형 통합 설계를 맡아 사업 전반을 총괄 관리한다. 이번 과제는 산·학·연 전문가들이 참여하는 'K-초순수 팀 코리아' 컨소시엄 형태로 추진돼 국내 기술 역량을 집약하는 계기가 될 전망이다.

초순수 국산화는 반도체 공급망 안정화 측면에서도 의미가 크다. 산업통상부가 추진 중인 반도체 초격차 전략에서도 용수·전력 등 기반 인프라 확보는 핵심 과제로 꼽힌다.

특히 용인 반도체 클러스터 등 대규모 생산거점 구축이 본격화되면서 안정적인 초순수 공급 체계 확보의 중요성은 더욱 커지고 있다.

테크로스 워터앤에너지 관계자는 "LG디스플레이, SK실트론, 해성디에스, LG이노텍 등 주요 기업을 대상으로 초순수 설비 설계·시공 실적을 다년간 축적해왔다"며 "반도체 수율과 직결되는 핵심 인프라인 만큼, 그간의 기술력과 현장 경험을 바탕으로 국산화와 사업 확대를 안정적으로 이끌어 나가겠다"고 밝혔다.

한편 테크로스 워터앤에너지는 초순수를 포함한 수처리, 폐기물 처리 및 에너지화, 대기오염 방지, 수소 등 환경·에너지 전 분야에서 토탈 솔루션을 제공하는 EPC(설계·조달·시공) 기업이다. 업계에서는 이번 사업이 반도체 공급망의 '물 인프라' 자립도를 높이는 분기점이 될 것으로 보고 있다.