반도체 검사용 열영상 현미경 수입 의존 탈피 '첫발'

한국기초과학지원연구원, 고분해능 열영상 현미경 기술 이전

왼쪽부터 이재원 에이치비솔루션 대표, 장기수 KBSI 전략장비개발연구단장, 양성광 KBSI 원장. KBSI 제공

국내 연구진이 개발한 고분해능 열영상 현미경 기술이 민간 기업으로 이전되며 반도체 불량분석 장비 국산화에 속도를 낸다. 전량 수입에 의존하던 적외선 결함분석 장비 시장에서 국산 대체 장비 상용화 가능성이 열렸다.

 

한국기초과학지원연구원(KBSI)은 23일 에이치비솔루션과 '열영상 현미경 기술' 기술이전 협약을 체결했다고 24일 밝혔다. 연구실 단계 기술을 산업 현장에서 활용 가능한 장비로 사업화하기 위한 협약이다.

반도체 산업의 주요 과제는 발열 제어와 수율 향상이다. 미세 결함을 정밀 분석해 불량을 잡아내는 장비가 필요하다. 기존 적외선 현미경 장비는 비싸고 공간분해능이 낮다. 공간분해능은 근접한 두 물체를 구분하는 능력으로 값이 높을수록 정밀한 관찰이 가능하다. 현재 한국은 적외선 불량분석 장비 전량을 수입에 의존한다.

장기수 KBSI 전략장비개발연구단장 연구팀은 '고분해능 열영상 현미경 기술'을 개발했다. 전자소자의 미세 발열을 비접촉 방식으로 측정·영상화하는 기술로 기존 장비의 수 마이크로미터(μm·100만분의 1미터) 수준 분해능을 뛰어넘는 정밀도로 결함 위치를 특정한다. 국내 대기업과 협력 연구를 통해 실용화 가능성도 검증했다.

장 연구단장은 "발열 기반 결함을 정밀하게 검출·분석할 수 있어 수율 개선에 직접 기여한다"며 "AI 반도체 등 차세대 소자의 신뢰성 확보에 활용될 것"이라고 밝혔다.

 

기술을 이전받은 에이치비솔루션은 반도체 계측과 검사(MI)·잉크젯·도포 기술을 보유한 국내 기업으로 디스플레이 분야에서 쌓은 기술력을 바탕으로 반도체 시장 확대에 나서고 있다. 에이치비솔루션은 "반도체뿐 아니라 다양한 산업 분야에 결함검사·불량분석 장비 상용화를 추진할 계획"이라고 밝혔다.

양성광 원장은 "기술이전 사업화로 국내 반도체 산업 경쟁력 강화에 기여할 것"이라고 말했다.

[조가현 기자,문혜원 인턴기자 gahyun@donga.com,moony@donga.com]