피에스케이, 램리서치 상대 '베벨에처' 특허분쟁 또 미소...램리서치, 특허 정정 무산

대법원, 2일 램리서치 주장 기각

(지디넷코리아=이기종 기자)피에스케이(PSK)가 램리서치를 상대로 벌이고 있는 베벨 에처 특허분쟁에서 또 웃었다. 램리서치는 PSK 공세로 무효 위기에 빠진 특허 권리범위를 좁히려 정정을 시도했지만 대법원이 기각했다. 

베벨 에처는 웨이퍼 가장자리(베벨)에 형성된 불필요한 박막을 정밀하게 제거하는 장비다. PSK가 지난 2021년 베벨 에처를 개발하자 램리서치는 PSK에 특허 침해를 주장했다. PSK는 대응 차원에서 특허무효분쟁을 시작했다. 

대법원은 지난 2일 램리서치의 '갭이 제어되는 베벨 에처' 특허(등록번호 1433411) 정정 관련 상고심에서 원고 램리서치 주장을 기각했다. 램리서치는 해당 특허 권리범위를 좁히려 정정심판 등을 이어왔지만 2025년 4월 특허심판원, 2025년 11월 특허법원이 모두 받아들이지 않았고, 대법원 판단도 같았다. 

베벨에처 (자료=PSK)

일반적으로 특허권자는 특허의 특정 청구항(권리범위)이 무효가 되면 특허권을 지키기 위해 권리범위를 좁히는 정정심판을 청구한다. 정정 청구가 받아들여져 권리범위가 좁아지면 경쟁사에 특허 침해를 주장하긴 어려워도 특허권은 유지할 수 있다.

특허심판원은 지난 2025년 5월 램리서치의 해당 특허 청구항 1~2항, 5항, 13항, 19~20항이 무효라고 심결했다. 아직 특허법원 등 상급심 판단이 남아있지만 특허 핵심 청구항이 무효가 될 위기에 처했다. 램리서치는 심결에 불복하고 2025년 8월 특허법원에 항소했다. 이 소송(심결취소소송)은 아직 진행 중이다. 

이번에 대법원이 램리서치 주장을 기각한 특허는 두 업체가 여전히 진행 중인 램리서치의 특허 무효분쟁 2건(등록번호 1433411·1468221) 중 1건(1433411)이다. 

또 다른 램리서치 특허 1건(1468221)도 정정심판과 무효심판이 남아있다. 이 특허에 대해선 2024년 8월 특허법원이 무효라고 판단해 PSK가 유리하다. 해당 무효분쟁은 특허심판원으로 환송됐다. 

PSK가 램리서치를 상대로 제기한 특허 무효분쟁에선 PSK가 전체적으로 우위에 있다. PSK는 지난 2021~2022년 램리서치 특허 4건, 참엔지니어링 특허 2건을 상대로 무효분쟁을 시작했다. 램리서치는 참엔지니어링 특허 2건의 전용실시권자(독점 사용자)다.

PSK가 램리서치 특허 4건을 상대로 제기한 무효분쟁 중 2건(등록번호 1441720·1265827)에서 PSK가 이겼다. PSK가 참엔지니어링 특허 2건을 상대로 제기한 무효분쟁에선 PSK(등록번호 1433769)와 참엔지니어링(등록번호 1249247)이 1건씩 승리했다. 

이기종 기자(gjgj@zdnet.co.kr)