하이닉스, 대당 수천억원 반도체 핵심장비 12조원어치 구매

‘AI 메모리’ 생산능력 확충

네덜란드 에이에스엠엘(ASML)의 극자외선(EUV) 노광장비. 에이에스엠엘 누리집 갈무리

에스케이(SK)하이닉스가 내년 말까지 첨단 반도체 제조에 필수적인 극자외선(EUV) 노광장비 12조원어치를 대량 구매하기로 했다. 새로 문 여는 청주·용인 반도체 공장 등에서 인공지능 메모리(HBM) 생산 능력을 확대하겠다는 포석이다.

하이닉스는 24일 이사회를 열어 네덜란드 에이에스엠엘(ASML)로부터 11조9497억원 규모 이유브이 장비를 구매하기로 결정했다고 밝혔다. 장비는 내년 말까지 2년여에 걸쳐 순차적으로 인도될 예정이다.

이유브이 장비는 반도체 원판인 웨이퍼에 미세한 회로도를 그리는 ‘포토 공정’의 핵심 장비다. 파장이 짧은 빛을 이용해 초정밀 핀셋 펜처럼 세밀한 회로를 그릴 수 있다. 에이에스엠엘은 1대당 수천억원에 이르는 이유브이 장비를 독점 생산하는 까닭에 반도체 기업들의 ‘슈퍼을’로 불린다.

이번 장비 구매액은 하이닉스 전체 자산의 약 10%에 이르는 규모다. 현행 공시 규정에 따라 자산 2조원 이상인 유가증권시장 상장사는 유형자산 신규 취득액이 총자산의 2.5% 이상인 경우, 반드시 이를 시장에 공시해야 한다. 하이닉스가 에이에스엠엘의 이유브이 장비 대량 구매 사실을 공시하는 건, 2021년 2월(4조8천억원 규모) 이후 5년여 만이다.

회사 쪽은 “차세대 메모리 공정 양산 대응을 위해 장비를 확보한 것”이라고 설명했다. 다만 장비 구매 대수는 대외비로 하고 외부에 공개하지 않았다.

이번에 들여오는 이유브이 장비는 올해 본격 가동을 앞둔 청북 청주 반도체 공장(M15X)과 내년 2월 클린룸(청정실)을 여는 경기도 용인 반도체 클러스터 1기 팹(반도체 공장)에 투입될 전망이다. 이 공장들에서는 최근 빅테크들의 수요가 급증하는 고대역폭 메모리가 주로 생산될 예정이다.

하이닉스 이사회는 앞서 지난 달 용인 1기 팹에 오는 2030년 말까지 신규 시설 투자비 21조6천억원을 추가 집행하는 방안도 의결한 바 있다. 이를 통해 내년에 문 여는 클린룸을 제외한 나머지 5개 클린룸 조성에도 착수하겠다는 것이다.

또한 이 장비들을 통해 앞으로 하이닉스의 디(D)램 생산에 ‘10나노미터(㎚·1나노미터는 10억분의 1m)급 6세대(1c) 공정’을 적용하는 공정 전환도 속도를 낼 것으로 예상된다. 하이닉스는 앞서 이달 초 메모리칩의 회로 선폭이 10나노급인 최신 6세대 미세 공정을 적용한 16기가비트(Gb) 저전력 디램(LPDDR6)을 세계 최초로 개발했다고 밝힌 바 있다.

박종오 기자 pjo2@hani.co.kr