소방연, 반도체 공정 유독 화학물질 'TMAH' 대응 기술 개발

최근 울산서 TMAH 누출 사망사고…"구연산·명반 세척이 생존율 높여"

(서울=연합뉴스) 차민지 기자 = 국립소방연구원은 반도체·디스플레이 제조 공정에서 사용되는 유독 화학물질 수산화테트라메틸암모늄(TMAH)의 인체 유해성을 과학적으로 분석하고 현장 대응 기술을 개발했다고 6일 밝혔다.

TMAH는 반도체와 디스플레이 제조 공정에서 실리콘 웨이퍼의 세정과 현상 공정에 널리 사용되는 강알칼리성 화학물질이다. 피부나 눈, 호흡기 접촉 시 심각한 손상을 유발해 단순 피부 접촉만으로도 사망에 이를 수 있다.

소방연에 따르면 최근 10여년간 국내에서 TMAH 관련 중대사고가 반복적으로 발생했다.

2021년 경기 파주 디스플레이 사업장에서는 배관 수리 중 TMAH가 누출돼 작업자 7명이 사망하거나 중경상을 입었고, 지난 6월 울산 울주 화학물질 제조공장에서는 TMAH가 작업자의 얼굴과 팔에 튀어 심정지로 사망하는 사고가 발생했다.

소방연은 인체와 환경에 무해한 산성 약제를 후보로 선정해 TMAH에 대한 중화 반응성과 제독 효율을 검증했다.

실험 결과, TMAH(2.38%) 수용액에 직접 노출된 실험 쥐는 5∼10분 내 사망했으나, 구연산·명반·젖산으로 중화 처리된 시료에서는 72시간 관찰 동안 모두 생존했다.

이를 통해 피해자 인계 전 구연산 또는 명반 수용액으로 즉시 제독 후 분무 세척하는 것이 생존율 향상에 가장 효과적인 조치로 확인됐다.

국립소방연구원은 연구 결과를 토대로 TMAH 사고 대응 절차와 제독 방법을 담은 현장 대응 지침서를 제작해 전국 소방관서에 배포할 방침이다.

오는 18일에는 울산소방본부 특수대응단과 합동으로 TMAH 누출 사고 상황을 가정한 실전 검증 대응 기술을 선보일 계획이다.

chacha@yna.co.kr

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