한화세미텍, 한미반도체에 TC본더 특허소송 맞불…전면전 양상

한화세미텍, SK하닉에 TC본더 납품하며 갈등 본격화
한미반도체, 작년 12월 한화세미텍에 소송 "후안무치"

TC본더 'SFM5-Expert'(한화세미텍 제공). ⓒ 뉴스1

(서울=뉴스1) 박주평 기자 = 한미반도체(042700)로부터 고대역폭메모리(HBM)용 장비 TC본더 관련 특허 침해소송을 당한 한화세미텍이 역으로 한미반도체를 상대로 특허소송을 제기했다. 한미반도체는 한화세미텍의 소송 제기에 대해 "후안무치한 행동"이라고 비판하면서 양사 간 TC본더 기술을 둘러싼 갈등이 전면전으로 번지는 모양새다.

28일 업계에 따르면 한화세미텍은 최근 TC본더 관련 특허 침해 혐의로 한미반도체에 소송을 제기했다.

여러 개의 D램을 수직으로 쌓아 만드는 HBM은 칩에 미세한 구멍을 뚫고 이 구멍을 통해 위아래 칩을 관통하는 전극을 연결하는 공정(TSV, 실리콘관통전극)이 필수적이다. TC본더는 칩과 칩 사이에 있는 접합 범프에 정확한 열과 압력을 가해 전극끼리 접합시키는 역할을 한다.

한화세미텍은 한미반도체의 5세대 HBM(HBM3E)용 TC본더에 탑재된 일부 부품을 문제 삼은 것으로 알려졌다.

양사 모두 HBM 시장 점유율 1위인 SK하이닉스에 TC본더를 공급하고 있어 소송 결과에 따라 향후 관련 사업 매출과 경쟁에 큰 영향을 줄 것으로 보인다. 한미반도체는 HBM용 TC본더를 선제 개발해 해당 시장 점유율 1위를 기록하고 있으며, 한화세미텍도 TC본더 개발에 성공해 SK하이닉스로부터 800억 원 규모의 장비를 수주하는 등 성과를 냈다.

한화세미텍 측은 "반도체 장비의 핵심 기술 보호와 기술 탈취 및 도용 등 불법 행위에 대한 강력한 대응 차원"이라고 밝혔다.

앞서 한미반도체는 지난해 12월 한화세미텍이 자사 TC본더 관련 특허를 침해했다며 서울중앙지법에 소송을 제기하 바 있다. 한화세미텍은 올해 5월 한미반도체를 상대로 해당 특허에 대한 무효심판을 특허심판원에 청구하기도 했다.

한미반도체는 이날 한화세미텍의 소송 제기와 관련해 입장문을 내고 "이번 소송은 사실에 근거하지 않은 적반하장 소송"이라며 "당사가 한화세미텍의 기술 침해에 대해 정당한 법적 대응을 하자, 이에 맞서 역고소를 제기한 것은 후안무치한 행동"이라고 주장했다.

이어 "한미반도체는 TC본더 시장 글로벌 1위 기업으로, 업계 최초로 관련 장비를 상용화한 이래 독자적인 원천기술과 최장 업력을 보유하고 있다"며 "법적 절차를 통해 정당한 권리를 보호하고, 앞으로도 기술 혁신과 고객 신뢰를 최우선으로 하겠다"고 덧붙였다.

jupy@news1.kr