예스티, 차세대 반도체 'HPO' 국책과제 총괄 주관기관 선정

예스티 CI

[파이낸셜뉴스] 반도체 열처리 및 고압공정 전문기업 예스티가 산업통상자원부가 주관하는 ‘수직적층 메모리 대응 고압 습식 산화 공정의 부품·통합 모듈 및 평가기술 개발’ 국책과제의 총괄 주관기관으로 선정됐다고 1일 밝혔다.

예스티는 이번 과제를 통해 차세대 메모리 반도체 생산에 필수적인 고압산화공정장비(High Pressure Oxidation, HPO) 개발을 추진한다.

이번 사업에는 지오엘리먼트, 뷰온 등 반도체 장비·검사 전문기업 및 전자기술연구원(KETI)이 공동 참여한다. 또 글로벌 톱티어 반도체 기업 2곳이 수요기업으로 참여해 장비 및 공정 검증을 함께 진행할 예정이다.

고압산화공정은 메모리 집적도 향상과 미세 패턴화를 위해 기존 고온 산화 공정에서 발생하는 패턴 붕괴와 웨이퍼 휨 현상을 해결할 수 있는 차세대 기술로 주목받고 있다. 다만 파티클 발생, 저온 산화막 두께 확보, 균일도 유지 등 기술적 난제가 있어 상용화가 지연돼 왔다.

예스티는 고압산화공정용 알파기를 제작해 글로벌 고객사와 웨이퍼 테스트를 진행, 공정 조건을 확보하고 관련 특허들의 출원을 완료했다. 이번 과제를 통해 예스티는 고압산화공정 전용 부품 및 검사 기술을 단기간에 개발하고, 장비 상용화를 앞당길 계획이다.

예스티 관계자는 “고압산화공정장비는 차세대 메모리 생산에 핵심적인 역할을 할 장비”라며 “이번 국책과제는 예스티가 글로벌 반도체 고객사들과 긴밀히 협력해 기술 난제를 해결하고 국산화 경쟁력을 강화하는 계기가 될 것”이라고 밝혔다.

한편, 예스티는 고압수소어닐링 장비 국책과제를 성공적으로 수행해 생산성과 공정 성능을 크게 향상시킨 바 있다.

dschoi@fnnews.com 최두선 기자