“최첨단공정서 중국 장비·소재 다 뺀다”...TSMC, 미국 규제 영향 차단[닛케이]

TSMC. 연합뉴스

세계 최대 반도체 위탁생산(파운드리) 업체인 대만 TSMC가 연내 양산을 추진 중인 2나노(㎚·1㎚=10억분의 1m) 생산라인에서 중국 제조장비 사용을 배제한다고 니혼게이자이신문(닛케이)이 25일 보도했다.

이 신문은 “미국에서 중국산 장치에 대한 규제가 강화될 전망이어서 향후 생산에 지장이 생기는 것을 막으려는 것”이라고 해설했다.

TSMC는 우선 대만 북부 신주에서 2나노 공정 제품 양산을 시작하고, 이후 대만 남부 가오슝과 미국 애리조나주에서도 2나노 제품을 만들 예정이다.

TSMC는 지금까지 중국 반도체 장비회사 중웨이반도체(AMEC)와 중국 기업 산하 업체인 미국 맷슨 테크놀로지 장비를 사용해 왔다.

다만 이미 양산 중인 3나노 생산라인에서도 1년 전쯤 중국산 장비 제외를 검토했으나, 제반 상황을 고려해 보류했다고 닛케이는 전했다.

TSMC는 반도체 제조장치뿐만 아니라 중국산 소재 이용도 줄이기 위한 조사를 진행 중인 것으로 알려졌다.

이 신문은 “TSMC가 중국 제조장치 등을 배제하려는 것은 미국에서 규제가 강화될 가능성이 있기 때문”이라며 지난해 미국에서 반도체법 지원 아래 건설된 미국 공장에서 중국산 장비를 사용하지 못하도록 하는 법안이 발의됐다고 전했다.

이어 TSMC가 미국 정부 보조금을 받아 애리조나주에 첨단 반도체 공장을 짓고 있다고 덧붙였다.