캐논, 니콘 카메라 잊어라…세계 반도체 장비에 승부수

 일본 전자업체 캐논이 21년 만에 새 반도체 장비 공장을 설립하고 가동에 들어갑니다. 인공지능(AI) 시장 팽창으로 반도체 후공정 수요가 급증하자 생산 확대에 나섰습니다. 

31일 니혼게이자이신문 등에 따르면 캐논은 전날 일본 도쿄 북쪽 우츠노미야시에 있는 공장 내 신규 반도체 장비 제조시설 기공식을 열었었습니다. 

연면적 6만7천518㎡로 총 500억엔(약 4천671억원)이 투입됐습니다. 

이곳에서는 오는 9월부터 반도체 노광장비를 생산할 예정입니다.  노광장비는 설계한 전자 회로를 웨이퍼(원형 반도체 기판)에 빛으로 그리는 반도체 공정에 사용되는 핵심 장치입니다. 

캐논이 반도체 노광장비 신공장을 여는 것은 2004년 이후 21년 만입니다. 캐논의 노광장비 생산능력은 기존보다 50% 늘어납니다. 

반도체 노광장비는 네덜란드 기업 ASML이 세계 시장 점유율 90%를 차지합니다. 특히 첨단 반도체 생산에 필수적인 극자외선(EUV) 노광장비는 ASML이 독점 생산합니다. 

캐논과 니콘 등 일본 업체는 2000년대 이전까지 노광장비 시장을 장악했지만 미세화 경쟁에서 ASML에 밀렸습니다. 

ASML은 최첨단 기술이 필요한 전공정 전용 장비에 집중해왔지만, 캐논은 후공정에 특화한 노광장비를 내놓으며 반등 기회를 잡은 것으로 평가됩니다. 

세계 최대 반도체 수탁생산(파운드리) 업체인 대만 TSMC도 후공정 부문에서는 캐논 장비에 의존하는 것으로 전해졌습니다. 

캐논에 이어 니콘도 후공정용 노광장비 시장에 내년에 뛰어들 예정입니다. 

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