저스템, AI로 반도체 습도제어장비 성능 향상 성공

‘AIP-JFS(AI Powerd- JFS)’ 개발
습도 1% 이하로 낮추는 정밀제어시스템
7월 말부터 글로벌 반도체기업 대상 테스트 및 공급

[헤럴드경제=김민지 기자] 반도체 습도제어 전문 장비회사 ‘저스템’이 AI(인공지능) 기술로 습도제어 장비 JFS(Jet Flow Straightener) 성능을 극대화하는데 성공했다.

저스템은 현재 글로벌 반도체 기업을 대상으로 공급 중인 2세대 습도제어 솔루션 JFS를 첨단 AI기반의 정밀제어시스템으로 고도화하는 ‘AIP-JFS(AI Powerd- JFS)’를 개발했다고 11일 밝혔다.

AIP-JFS는 JFS의 습도제어 성능을 각 생산라인의 공정과 설비 등 환경에 최적화되도록 프로그래밍하고, AI가 기류흐름을 분석해 속도 및 강도를 제어해 생산라인의 안정성을 극대화한다.

생산성도 향상시킨다. AI를 활용해 데이터의 분석시간을 단축하고 기존보다 빠르게 습도를 제어해 시간과 비용을 크게 절감할 수 있다. JFS의 습도제어 최적화에 소요되는 시간을 60% 이상 줄일 수 있다.

반도체공정에서는 습도제어를 통한 수율향상이 중요하다. JFS는 이러한 시장의 니즈에 부응해 저스템이 원천 특허기반으로 습도 문제를 해결하기 위해 만든 세계최초 기류제어 제품이다. 풉(foup)의 내부습도를 최대 1% 이하로 제어한다.

우인근 저스템 연구소 이사는 “‘JFS가 AI 정밀제어시스템을 통해 성능을 더욱 극대화할 수 있게 됐다”며 “반도체 공정에서 습도제어의 안정성이 나날이 중요시되는 만큼 한 차원 높은 기술력으로 글로벌 반도체 기업에 JFS를 공급할 것”이라고 말했다

저스템은 이번 개발을 시작으로 정전기 제어장비인 VIS 등 자사 주요 솔루션에 AI기술을 전면적으로 도입, 장비운영시스템을 고도화할 계획이다.