가천대, 원자수준 수차보정 투과전자현미경 도입

국내 최초 서브나노미터 반도체 특성 분석 인프라 구축

[성남=뉴시스] 교육부 ‘2025년 인프라 고도화 지원과제’ 참여하는 가천대 연구진 (사진=가천대 제공) 2025.06.23.photo@newsis.com

[성남=뉴시스] 신정훈 기자 = 가천대학교 바이오나노융합소재 연구센터가 2030년까지 총 83억 원의 정부지원을 받아 '원자단위 소자 특성 매핑 특화 수차보정 투과전자현미경(Cs-corrected TEM)'을 도입한다고 23일 밝혔다.

이번에 구축되는 인프라는 원자수준의 구조 분석이 가능한 수차보정 투과전자현미경 (Cs-corrected TEM))을 기반으로, 에너지 분산 분광기 (EDS), 전자 에너지 손실 분광기 (EELS), 고속 전자빔 측정기 (4D-STEM), 전자빔 유도 전류 측정 시스템 (EBIC), 로렌츠 렌즈, 실시간 전압 인가 홀더, 실시간 자기장 인가 홀더, 진공 이송 냉각 홀더 등 다양한 첨단 요소 하드웨어를 결합하고 있다.

이를 통해 가천대는 국내 최초로 서브나노미터급 반도체 소자의 특성 매핑과 오퍼란도(Operando) 연구가 가능해지며, 고도화된 반도체 소자 분석 및 개발의 새로운 전기를 마련할 것으로 기대하고 있다.

앞서 지난 4월 가천대는 교육부 '2025년 인프라 고도화 지원과제'에 최종 선정된 바 있다. 이 사업은 대학 내 첨단 연구장비 및 기반시설을 전략적으로 고도화해 미래 혁신 연구를 촉진하고, 고부가가치 창출이 가능한 연구 생태계를 구축하는 것을 목표로 하는 국가 연구지원 사업이다.

이 과제에는 윤상문 교수(반도체물리학과), 최두호·이수길·엄기태·진강태 교수(반도체공학과), 조의식 교수(전자공학과) 등 관련 분야의 교수진이 참여하고 있다.

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