베큐멕스, 반도체·우주항공 위한 아웃개싱 측정장치 개발

베큐멕스 연구원이 아웃개싱 테스트를 진행하고 있다./사진제공=베큐멕스

장비 개발 전문 스타트업 베큐멕스가 반도체 및 우주항공산업을 위한 아웃개싱(outgassing) 측정장치를 개발하고 반도체·우주항공 분야 핵심 품질검증 항목인 아웃개싱 특성 시험평가 서비스를 오는 16일 정식 출범한다고 1일 밝혔다.

베큐멕스가 개발한 이번 장치는 국제적으로 공인된 미국 재료 시험 협회(ASTM) E595 표준을 기반으로 TML(Total Mass Loss)과 CVCM(Collected Volatile Condensable Materials)을 정확하게 측정할 수 있다. 이를 통해 반도체 및 우주 산업용 소재의 아웃개싱 특성을 정밀하게 평가할 수 있다. 시뮬레이션 기반으로 교차오염 방지 구조를 설계하고 한국항공우주연구원(KARI)으로부터 기술이전을 받은 ASTM E595 시험장치 설계 및 운용기술을 적용해 장비의 신뢰성을 대폭 강화했다.

특히 교차오염 없이 한번에 다수의 샘플을 동시에 측정할 수 있어 기존 장비 대비 측정 효율을 획기적으로 높인 것으로 평가받는다. 민간업체가 아웃개싱 관련 장비를 개발하고 서비스하는 것은 이번이 처음이다.

이번 장비의 주요 특징은 △ASTM E595 준수(국제표준 ASTM E595를 준수한 설계로 TML 및 CVCM 측정 지원) △교차오염 억제 설계(교차오염을 최소화하기 위한 시뮬레이션 기반 설계 적용) △자동화 및 제어(실시간 데이터 자동 수집 및 제어 기능으로 실험 신뢰도 향상) △측정 정확도 강화(한국항공우주연구원 기술이전을 통해 측정 정확도 대폭 향상) 등이다.

아웃개싱이란 고온·진공 환경에서 소재에 잔류한 물질이 방출되는 현상을 말한다. 이로 인한 광학 표면 오염·센서 성능 저하는 주요 시스템 오작동을 유발할 수 있어 NASA 등 글로벌 기관에서 필수 시험항목으로 규정한다.

베큐멕스의 이번 솔루션 론칭은 우주산업 분야 핵심 시험 기술의 민간 상용화라는 점에서 의미가 크다는 평가다. 그동안 우주 소재의 아웃개싱 특성 평가는 주로 해외 장비나 연구기관에 의존했으나, 이제 국내에서도 정밀하고 신뢰성 높은 국산 테스트 솔루션을 저비용 고효율로 손쉽게 이용할 수 있게 됐다.

회사 측은 우주항공 분야는 물론 정밀 소재를 취급하는 기업 등 아웃개싱 분석이 필요한 다양한 고객이 이 서비스를 통해 소재의 신뢰성을 검증하고 비용과 시간을 절감할 수 있을 것으로 기대한다고 밝혔다.

한편 베큐멕스는 SK하이닉스 사내벤처 프로그램에서 분사한 기업으로, 반도체 장비 분야의 전문 엔지니어들이 모여 창업했다. 반도체 및 진공 분야에서 축적된 경험을 바탕으로 진공 장비 개발과 아웃개싱 정밀 측정 서비스를 제공하며, 반도체 장비 국산화와 기술 자립에 기여하는 것을 목표로 하고 있다.

김소연 기자 nicksy@mt.co.kr