예스티 손 들어준 특허심판원 "온도제어장치, HPSP 냉각장치와 달라"

예스티 CI.

반도체 장비업체 예스티가 개발한 온도제어장치 구조(확인대상발명)가 경쟁사 HPSP의 냉각장치에 대한 특허(제1576057호)와 다른 구조란 게 공식적으로 확인됐다.

29일 관련업계에 따르면 특허심판원은 이 문제에 대한 소극적 권리 범위 확인 심판에서 "예스티의 온도제어장치 구조가 HPSP의 특허와 다르며, HPSP도 이를 인정하고 다툴 의사가 없으므로 확인의 이익이 없어 심판청구를 각하했다"고 밝혔다.

특허심판원은 심결문에서 "예스티의 확인대상발명이 HPSP의 특허발명과 대비할 수 있게 구체적으로 특정됐고, 확인대상발명이 HPSP의 특허발명의 권리 범위에 속하지 않는다"고 판단했다.

다만 심판 과정에서 HPSP도 확인대상발명이 HPSP 특허 권리 범위에 속하지 않는다는 것을 인정하고, 향후에도 이를 다투지 않을 것임을 명확히 밝혀 예스티의 특허에 관한 법적 불안이 보이지 않기 때문에 확인의 이익이 없어 각하 판정을 내린 것으로 알려졌다.

예스티는지난 4월 28일 HPSP가 제기한 고압어닐장비 잠금장치에 대한 특허(제1553027호, 이하 027 특허) 침해소송과 관련 심판에서 예스티의 구조가 HPSP 특허와 다르다는 심결을 받은 바 있다.

예스티는 027 특허와 별도로 HPSP의 다른 특허와 관련한 분쟁에 선제적으로 대응하기 위해 HPSP의 주요 특허 5건에 대해 특허무효심판(3건) 및 소극적권리범위 확인심판(2건)을 청구했다.

지난 2월 HPSP의 냉각장치 관련 특허와 관련해선 예스티의 구조가 HPSP의 구조와 다르다는 판정을 받았고, 이번에 온도제어장치와 관련된 특허에 대해서도 동일한 판정을 받았다. 예스티는 "나머지 3건의 특허무효심판에 대해서도 심리가 진행되고 있다"며 "이를 통해 향후 특허와 관련된 분쟁 가능성을 사전에 차단해 나갈 것"이라고 밝혔다.

한편 예스티는 2023년부터 국내, 일본 및 중화권의 글로벌 고객사들과 고압어닐장비에 대한 다양한 평가를 진행해 왔다. 현재 일부 고객사와 장비 수주에 관한 절차를 진행 중이며, 올해 하반기 수주 계약을 기대하고 있다.

유엄식 기자 usyoo@mt.co.kr